[发明专利]用于金属硅冶炉的持续上料机构及其使用方法在审
申请号: | 201910347790.3 | 申请日: | 2019-04-28 |
公开(公告)号: | CN110004490A | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
发明(设计)人: | 吴胜登;祝明敏;何晓春;何晓东 | 申请(专利权)人: | 浙江启瑞电子有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 陈娟 |
地址: | 324300 浙江省衢州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属硅 石英坩埚 投料量 炉体 氩气 顶部设置 上料机构 加料 传感器 进管 上料 熔化 产品成品率 多晶铸锭炉 红外传感器 炉体内部 使用效率 推料器 新工艺 一次性 硅料 研发 自投 坩埚 | ||
本发明涉及金属硅冶炉上料技术领域,尤其涉及用于金属硅冶炉的持续上料机构及其使用方法,解决了现有技术中存在的金属硅冶炉一次性上料后,无法满足达到最大投料量,导致坩埚使用效率低下,产品成品率低的缺点,包括炉体及设置于炉体内部的石英坩埚,该石英坩埚的内部放置有硅料,且炉体的顶部设置有氩气进管,所述石英坩埚的底部设置有TC2传感器,且炉体的顶部一侧设置有TC1传感器,所述氩气进管的顶部设置有红外传感器GW,本发明在多晶铸锭炉中,采用边熔化边加料的新工艺,通过自投研发的推料器自动控制并安全可靠的完成整个加料过程,投料量可以完成到最大投料量。
技术领域
本发明涉及金属硅冶炉上料技术领域,尤其涉及用于金属硅冶炉的持续上料机构及其使用方法。
背景技术
目前多晶铸锭炉生产工艺是打开炉子一次性坩埚投满料进炉进行生产,根椐料的形状,投料量一般会在450-850KG之间。打开炉子把装满料的坩埚进入炉子进行化料长晶等工艺进行生产,由于每炉投料量不一致工艺不对应,成品率也很低。
由于料的结构,料的固液体积特性差别,造成投料量不足,严重影响了坩埚的使用效率,大大降低产品的成品率。在使用碎料的投料时,严重影响坩埚的投料量以及产品的成品率。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的金属硅冶炉一次性投料后,无法满足达到最大投料量,导致坩埚使用效率低下,产品成品率低的缺点,而提出的用于金属硅冶炉的持续上料机构及其使用方法。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
用于金属硅冶炉的持续上料机构,包括炉体及设置于炉体内部的石英坩埚,该石英坩埚的内部放置有硅料,且炉体的顶部设置有氩气进管,所述石英坩埚的底部设置有TC2传感器,且炉体的顶部一侧设置有TC1传感器,所述氩气进管的顶部设置有红外传感器GW,且氩气进管的一侧通过连通管设置有绞龙,该绞龙的上方连通设置有推料器;
所述推料器的顶部设置有推转料电机,且推转料电机的输出端键连接有转轴,该转轴的外侧设置有轴套,且转轴的底部设置有推转叶片,所述推料器的顶部一侧开设有吸料口,且推料器的顶部另一侧开设有下人孔。
优选的,所述推转料电机通过连接器设置于所述推料器的顶部。
优选的,所述转轴与所述推料器之间设置有机封。
优选的,所述轴套为氟塑轴套。
优选的,所述绞龙的一侧设置有绞龙减速电机,且绞龙减速电机的输出端通过联轴器与所述绞龙连接。
优选的,所述绞龙的上表面与所述推料器连通,且绞龙的底部与连通管连通。
优选的,所述氩气进管的顶部设置有观察口。
优选的,所述推料器的底部固定设置有支撑脚。
优选的,所述转轴的两侧均设置有转轴支撑。
优选的,用于金属硅冶炉的持续上料机构的使用方法,包括以下步骤:
S1:熔化阶段,进入压力模式,压力为200-600mbar、温度200℃-1530℃,结合顶部观察孔及顶部红外传感器GW监控熔化情况,判断硅料是否完全熔化,确认完全熔化后,暂停,边加料边化料结束后手动进入下一步后继续运行配方;
S2:长晶阶段,隔热笼逐渐提升,持续运行,结合功率曲线的变化与观察孔查看情况,判断记录中央长晶透顶,进入边角长晶后,观察功率曲线的变化,必须走平0.5-1h,判断边角长晶结束,否则手动进入暂停或跳下一步;
S3:退火阶段,控制模式从温度模式自动进入功率模式,功率曲线缓慢平稳下降,隔热笼降至最低位置退火后自动跳下一步;
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