[发明专利]集驱动传感于一体的柔性智能器件及其制造方法

权利要求书

1.一种集驱动传感于一体的柔性电子器件，其特征在于：由膜组件和铜线组成；膜组件由四层膜构成，从上至下分别为湿敏材料层、金电极薄膜、压电材料P(VDF-TRFE)层、金电极薄膜层，各膜层之间相互连接紧密，其中金电极薄膜导电性能和延展性优异；铜线则用银胶粘于金电极薄膜上；电信号输出通过金电极薄膜和两个铜线实现，金电极薄膜通过电子束蒸发系统蒸镀在P(VDF-TRFE)薄膜两表面，铜线通过银胶粘于金电极薄膜上，金电极和铜线接点关于膜组件中心对称。

2.如权利要求1所述的集驱动传感于一体的柔性电子器件，其特征在于：P(VDF-TRFE)薄膜和PEDOT:PSS薄膜的厚度比是4:1。

3.如权利要求1所述的集驱动传感于一体的柔性电子器件的膜组件的制造方法，包括以下步骤：

(1)用电子天平称取P(VDF-TRFE)粉末；将P(VDF-TRFE)和DMF放入锥形瓶中配置P(VDF-TRFE)质量分数为2.5％的混合溶液，进行磁力搅拌2小时；待搅拌完成后，将溶液倒入至平底培养皿；将培养皿放入烘箱，60度鼓风干燥；成膜后进行140度退火处理2小时；

(2)将P(VDF-TRFE)薄膜从培养皿上揭下，并通过电子束蒸发系统在其两表面蒸镀金电极；

(3)用胶带固定薄膜四角于载玻片上；对薄膜表面用25W的功率进行空气等离子处理60秒；在薄膜表面旋涂PEDOT:PSS，转速2000rpm，旋涂时间为60秒；放置于热台上55度加热5分钟；

(4)再次以同等参数等离子处理并旋涂PEDOT:PSS，共计在薄膜表面旋涂4层PEDOT:PSS；最后将复合材料放置热台上55度加热1小时烘干。