[发明专利]激光枪镜头透过率测试装置及测试方法

说明书

本发明提供了一种镜头透过率测试装置及测试方法，所述激光枪镜头透过率测试装置包括：光源组件，用于产生模拟激光枪激光的模拟光束；视场光阑，设置于激光枪镜头一侧，用于使模拟光束的光斑形状形成为预定形状，预定形状为激光枪镜头上的光束标记形状；信号采集组件，设置于激光枪镜头的另一侧，用于采集经过激光枪镜头的光束标记区域各坐标点位的光信号，并将所采集的光信号转换为电信号；以及，处理器，与信号采集组件连接，用于将电信号处理为图像信息。本发明的激光枪镜头透过率测试装置及测试方法，可以对激光枪镜头上的激光波束标记区域进行透过率测试，对此区域的透过率进行量化判断，保证激光输出透过率的准确性。

技术领域

本发明涉及一种显示技术领域，尤其涉及一种准分子激光退火设备的激光枪镜头透过率测试装置及测试方法。

背景技术

低温多晶硅(Low Temperature Poly-Silicon，简称LTPS)因其较高的电子迁移率和稳定性，而被广泛用于液晶显示技术(Liquid Crystal Display)和有机发光显示技术(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)。目前，通过准分子激光退火工艺(ELA)，在相对较低的温度下，实现非晶硅到多晶硅的转变。通过准分子激光对非晶硅(AmorphousSilicon)进行照射，可以实现向Poly-Si(多晶硅)的转变。

但ELA准分子激光退火设备在使用过程中，随着Gaslife time(准分子激光气体寿命)的不同，ELA准分子激光退火设备的激光枪镜头(Laser Tube Window)上的激光波束标记(Beam Mark)严重程度会有所不同。通常到达既定的Gaslife(准分子激光气体寿命)时，激光枪镜头上的激光波束标记(Beam Mark)已经较为明显，此时激光枪镜头的透过率已经大打折扣，若继续使用，会影响激光输出的质量(Laser Performance)，从而影响产品质量。因此，需要对ELA准分子激光退火设备的激光枪镜头进行清洁和更换，清洁完成需要进行透过率测试。

目前激光枪镜头主要是通过人工方式进行清洁，衡量清洁是否达标的重要指标主要为：①清除镜头表面激光波束标记，在强光照射下无可见异物(Particle)；②通过测试镜头透过率，判断镜头是否达标，然而，目前的激光枪镜头透过率测试装置主要通过人为调解坐标对激光枪镜头上的不同点位进行测试，测试随机性大，测试点位数量有限，测试周期较长，测试结果受测试位置以及人为影响较大。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种镜头透过率测试装置及测试方法，可以对激光枪镜头上的激光波束标记区域进行透过率测试，对此区域的透过率进行量化判断，保证激光输出透过率的准确性。

本发明所提供的技术方案如下：

一方面，本发明实施例提供一种激光枪镜头透过率测试装置，包括：

光源组件，用于产生模拟激光枪激光的模拟光束；

视场光阑，设置于所述光源组件的出光侧，并设置于激光枪镜头一侧，用于使所述模拟光束的光斑形状形成为预定形状，所述预定形状为激光枪镜头上的光束标记形状；

信号采集组件，设置于激光枪镜头的另一侧，用于采集经过所述激光枪镜头的光束标记区域各坐标点位的光信号，并将所采集的光信号转换为电信号；

以及，处理器，与所述信号采集组件连接，用于将所述电信号处理为图像信息。

进一步的，所述光源组件包括：

矩阵式光源，包括呈矩阵排列的多个光源元件，用于产生与所述激光枪激光相同波长的激光光束；

聚焦元件，设置于所述矩阵式光源的出光侧，用于将所述矩阵式光源出射的激光光束进行聚焦；

孔径光阑，设置于所述聚焦元件的出光侧，用于将所述聚焦部件出射的激光光束进行拦光，以使得激光光束由预设焦点区域出射；