[发明专利]一种扫描电化学显微镜及其校正方法

权利要求书

1.一种扫描电化学显微镜的扫描范围校正方法，其特征在于，包括：校正扫描电化学显微镜在X方向的扫描范围，其中校正扫描电化学显微镜在X方向上的扫描范围的步骤包括：

S101，利用电压生成电路在导电探针和导电基底之间施加恒定的电压；

S102，控制滚珠丝杠扫描器，驱动导电探针到初始位置，其中导电探针到导电基底的距离大于压电扫描器最大行程；

S103，控制压电扫描器为X方向最小行程；

S104，控制滚珠丝杠扫描结构，驱动导电探针向导电基底运动，同时电流检测电路检测导电探针和导电基底之间的电流；

S105，在电流检测电路检测到电流发生跳变时停止导电探针运动，记录滚珠丝杠扫描器的行程；

S106，控制滚珠丝杠扫描结构，驱动导电探针回到初始位置；

S107，控制压电扫描器到X方向最大行程；

S108，控制滚珠丝杠扫描结构，驱动导电探针向导电基底运动，同时电流检测电路检测导电探针和导电基底之间的电流；

S109，在电流检测电路检测到电流发生跳变时停止导电探针运动，记录滚珠丝杠扫描器的行程；

S10，计算两次电流跳变时，滚珠丝杠扫描器的行程之差，得到压电扫描器X方向的最大扫描范围；

一种扫描电化学显微镜，包括：三维滚珠丝杠扫描器、三维压电扫描器、导电探针、导电基底、工作平台和微控单元，所述三维滚珠丝杠扫描器包括X调节轴、Y调节轴和Z调节轴；X调节轴、Y调节轴和Z调节轴两两相互垂直设置，所述X调节轴设置在工作平台上，所述三维压电扫描器设置在Z调节轴的上，所述导电探针设置所述三维压电扫描器的末端，所述导电基底设置在所述工作平台上，且所述导电基底的位置和所述导电探针的位置相对应，所述微控单元包括：终端、微控制器、数字-模拟转换器、模拟-数字转换器和恒电位仪电路，终端和微控制器双向连接，微控制器还和数字-模拟转换器、恒电位仪电路、导电探针依次连接，微控制器还和模拟-数字转换器、恒电位仪电路、导电基底依次连接；

所述恒电位仪电路包括电压生成电路和电流检测电路，电压生成电路的一端和数字-模拟转换器连接，电压生成电路的另一端和导电探针连接，电流检测电路的一端和模拟-数字转换器连接，电流检测电路的另一端和导电基底连接。