[发明专利]一种采用非接触电极的高稳定长度伸缩模石英温度传感器

权利要求书

1.一种采用非接触电极的高稳定长度伸缩模石英温度传感器，包括封装体以及位于封装体内的谐振组件，谐振组件由石英晶体制作而成；所述封装体包括一端开口的管帽（101）和密封连接于管帽（101）开口侧的可伐金属片（102），可伐金属片（102）上穿设有两个分别用于连接外部电源正负的可伐金属引脚（103），可伐金属引脚（103）与可伐金属片（102）的连接处密封连接有玻璃粉绝缘子（104）；其特征在于，所述谐振组件为一体式结构，其包括双工字梁底座（201）、支撑框体（202）以及位于支撑框体（202）内的m个梳齿片和n个谐振臂，m和n均为正整数，m＞n，m个梳齿片上金属电极（305）的数量为2n；所述双工字梁底座（201）通过减震支撑座（203）与支撑框体（202）连接；所述双工字梁底座（201）和支撑框体（202）分别设置有汇流电极和导流电极；所述梳齿片的至少一个面与谐振臂的其中一个面相对且梳齿片与谐振臂相对的面上设置有金属电极（305），金属电极（305）通过汇流电极和导流电极与可伐金属引脚（103）电性连接；双工字梁底座（ 201） 与汇流电极、支撑框体（ 202） 与导流电极、梳齿片与金属电极（ 305） 为非接触式连接；

m个梳齿片包括第一梳齿片（205）、第二梳齿片（206）、第三梳齿片（211）和第四梳齿片（212），n个谐振臂包括第一谐振臂（207）和第二谐振臂（208）；所述第一谐振臂（207）和第二谐振臂（208）设置在支撑框体（202）的中心位置且通过两侧的支撑片（210）与支撑框体（202）的侧内壁连接，所述第一梳齿片（205）和第三梳齿片（211）连接于支撑框体（202）的上内壁且对称分布在第一谐振臂（207）的两侧，所述第二梳齿片（206）和第四梳齿片（212）连接于支撑框体（202）的下内壁且对称分布在第二谐振臂（208）的两侧；所述汇流电极包括位于双工字梁底座（201）前侧的第一汇流电极（301）和位于双工字梁底座（201）后侧的第二汇流电极（303），导流电极包括位于支撑框体（202）前侧的第一导流电极（302）和位于支撑框体（202）后侧的第二导流电极（304）；一个所述可伐金属引脚（103）通过第一汇流电极（301）和第一导流电极（302）与第三梳齿片（211）和第四梳齿片（212）上的金属电极（305）电性连接，另一个所述可伐金属引脚（103）通过第二汇流电极（303）和第二导流电极（304）与第一梳齿片（205）和第二梳齿片（206）上的金属电极（305）电性连接；

或：m个梳齿片包括第八梳齿片（404）、第五梳齿片（405）、第六梳齿片（406）和第七梳齿片（407），n个谐振臂包括第三谐振臂（401）、第四谐振臂（402）和第五谐振臂（403）；所述第三谐振臂（401）、第四谐振臂（402）和第五谐振臂（403）依次间隔连接于支撑框体（202）的上内壁，所述第八梳齿片（404）、第五梳齿片（405）、第六梳齿片（406）和第七梳齿片（407）依次间隔连接于支撑框体（202）的下内壁且与第三谐振臂（401）、第四谐振臂（402）和第五谐振臂（403）交错布设；所述汇流电极包括位于双工字梁底座（201）前侧的第一汇流电极（301）和位于双工字梁底座（201）后侧的第二汇流电极（303），导流电极包括位于支撑框体（202）前侧的第一导流电极（302）和位于支撑框体（202）后侧的第二导流电极（304）；一个所述可伐金属引脚（103）通过第一汇流电极（301）和第一导流电极（302）与第五梳齿片（405）和第六梳齿片（406）上的金属电极（305）电性连接，另一个所述可伐金属引脚（103）通过第二汇流电极（303）和第二导流电极（304）与第八梳齿片（404）和第七梳齿片（407）上的金属电极（305）电性连接。

2.根据权利要求1所述的采用非接触电极的高稳定长度伸缩模石英温度传感器，其特征在于，所述封装体内填充有具有高速导热能力的氦气。

3.根据权利要求1所述的采用非接触电极的高稳定长度伸缩模石英温度传感器，其特征在于，所述谐振组件的石英晶体为双转角xytl(115°±0.5)/（15°±1°)石英晶体。

4.根据权利要求1所述的采用非接触电极的高稳定长度伸缩模石英温度传感器，其特征在于，所述减震支撑座（203）上具有方形通孔（204）。