[发明专利]高可靠性海洋湍流传感装置

权利要求书

1.一种高可靠性海洋湍流传感装置，其特征在于：包括硅十字梁敏感芯片、橡胶帽、导流罩和支撑壳体；硅十字梁敏感芯片固定于壳体顶部的中心位置处，橡胶帽罩扣在硅十字梁敏感芯片外并与支撑壳体固定，导流罩罩扣在橡胶帽外并与支撑壳体固定，导流罩和橡胶帽之间留有空隙，橡胶帽的顶端向上延设有贯穿导流罩并伸至导流罩外部的橡胶探头；支撑壳体上位于橡胶帽和导流罩之间的位置均设有若干个透水孔；橡胶帽内注满有与水密度相同或相近的绝缘液体；硅十字梁敏感芯片、橡胶帽、导流罩和支撑壳体均位于同一轴线上。

2.根据权利要求1所述的高可靠性海洋湍流传感装置，其特征在于：硅十字梁敏感芯片的纤毛及硅十字梁的外表面均包裹一层Parylene膜。

3.根据权利要求2所述的高可靠性海洋湍流传感装置，其特征在于：Parylene膜的厚度为4μm。

4.根据权利要求1或2所述的高可靠性海洋湍流传感装置，其特征在于：支撑壳体包括由下而上一体成型的第一管壳、第二管壳、支撑圆盘和支撑柱台，且第一管壳、第二管壳、支撑圆盘和支撑柱台内部形成有上下连通的内腔，支撑圆盘上表面以支撑柱台为中心开设有内外两圈连接槽；硅十字梁敏感芯片固定于支撑柱台的中心处，橡胶帽扣接在支撑圆盘上的内圈连接槽内，导流罩扣接在支撑圆盘上的外圈连接槽内，透水孔开设于支撑圆盘上位于内外圈连接槽之间的脊棱上。