[发明专利]一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置

权利要求书

1.一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置，镀膜设备包括传动机构、放置在传动机构上的托盘；磁材放置在托盘上；其特征在于：降温装置包括位于托盘下方的水冷挡板，升降机构，软管；水冷挡板安装在升降机构的输出端，水冷挡板内设有冷却槽，冷却槽的出口处和入口处均安装有接头，软管与接头相连接，软管和冷却槽内通有冷媒。

2.按照权利要求1所述的一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置，其特征在于：传动机构包括多根沿着纵向依次排列的传动辊，传动辊的轴线沿着横向设置，托盘放置在传动辊上，相邻两个传动辊之间设置一个水冷挡板。

3.按照权利要求1所述的一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置，其特征在于：传动机构有两个，托盘的一端放置在其中一个传动机构上，托盘的另一端放置在另一个传动机构上，水冷挡板位于两个传动机构之间。

4.按照权利要求3所述的一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置，其特征在于：两个传动机构均包括多根沿着纵向依次排列的传动辊。

5.按照权利要求1所述的一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置，其特征在于：冷却槽的截面形状为矩形、圆形或者异形。

6.按照权利要求1所述的一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置，其特征在于：托盘为金属托盘，托盘由不锈钢、铝合金或钛合金制成。

7.按照权利要求1所述的一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置，其特征在于：升降机构为电动升降机构、气动升降机构或液压升降机构。

8.按照权利要求1所述的一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置，其特征在于：升降机构为液压缸，水冷挡板安装在液压缸的活塞上，液压缸位于水冷挡板的下方。

9.按照权利要求1所述的一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置，其特征在于：软管为波纹管。

10.按照权利要求1所述的一种应用在磁材真空镀膜设备上的快速降温装置，其特征在于：磁材为钕铁硼永磁材。