[发明专利]一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置

权利要求书

1.一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置，其特征在于，包括箱体（1），所述箱体（1）的一侧设有气体输入管（2），所述箱体（1）的另一端设有出气管（3），所述气体输入管（2）的一侧位于所述箱体（1）上设有射频电源输入端（4），所述箱体（1）设有设有靶材（5），所述靶材（5）与接地线（6）相连接，所述靶材（5）上方设有安装底座（7），所述安装底座（7）的两端与所述箱体（1）的内壁相连接，所述安装底座（7）上设有电磁铁（8），所述电磁铁（8）远离所述靶材（5）的一侧为N级，所述电磁铁（8）靠近所述靶材（5）的一侧为S级，所述靶材（5）下固定设有立柱（9），所述立柱（9）远离所述靶材（5）的一端通过第一轴承（10）与所述箱体（1）的内壁相连接，所述箱体（1）的内壁固定设有电机（11），所述电机（11）的输出端设有第一螺纹杆（12），所述第一螺纹杆（12）远离所述电机（11）的一端固定设有第二螺纹杆（13），所述第二螺纹杆（13）与所述第一螺纹杆（12）的纹理相反，所述第二螺纹杆（13）远离所述第一螺纹杆（12）的一端通过第二轴承（14）与所述箱体（1）的内壁相连接，所述第一螺纹杆（12）和所述第二螺纹杆（13）上均螺纹套设有螺母（15），所述螺母（15）的一侧固定设有活动板（16），所述活动板（16）的一侧设有限位机构（17），所述活动板（16）远离所述螺母（15）的一端设有限位传感器（18），所述限位传感器（18）与所述控制模块（19）相连接，所述箱体（1）的一侧设有光传感器（20），所述光传感器（20）与所述控制模块（19）相连接。

2.根据权利要求1所述的一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置，其特征在于，所述靶材（5）远离所述电磁铁（8）的一侧设有铜背板（21），所述铜背板（21）与所述接地线（6）相连接。

3.根据权利要求1所述的一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置，其特征在于，所述电磁铁（8）上套设有防护套（22），所述防护套（22）固定在所述安装底座（7）上，所述防护套（22）为亚克力箱体。

4.根据权利要求1所述的一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置，其特征在于，所述电磁铁（8）包括硅钢片内芯和缠绕在所述硅钢片内芯上的通电导线。

5.根据权利要求1所述的一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置，其特征在于，所述靶材（5）的周围固定设有若干根限位顶柱（23），所述限位顶柱（23）与所述箱体（1）的内壁相接触。

6.根据权利要求1所述的一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置，其特征在于，所述电机（11）外套设有亚克力保护壳。

7.根据权利要求1所述的一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置，其特征在于，所述限位机构（17）包括数量为两个的夹板（24），所述夹板（24）位于所述活动板（16）的上下两侧，所述夹板（24）的两端固定在所述箱体（1）的内壁上。

8.根据权利要求1所述的一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置，其特征在于，所述活动板（16）上固定设有L形放置板（25），所述L形放置板（25）上固定设有减缓传感器（26），所述减缓传感器（26）与所述控制模块（19）相连接。

9.根据权利要求8所述的一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置，其特征在于，所述控制模块（19）包括PLC控制器。

10.根据权利要求1所述的一种延长靶材使用寿命的磁控溅射装置，其特征在于，所述气体输入管（2）输入的为氩气。