[发明专利]承载装置及工艺腔室

权利要求书

1.一种承载装置，其特征在于，包括：

可旋转的承载盘，在所述承载盘上设置有沿其周向间隔设置的多个用于承载晶片的工位；并且，在所述承载盘的每个所述工位中设置有至少三个沿其厚度贯穿的通孔，至少三个所述通孔沿其所在的所述工位的周向间隔分布；

至少三个顶针，竖直设置在所述承载盘的下方，且位于与取放片位置相对应的位置处，并且各个所述顶针的位置与旋转至所述取放片位置的所述工位中的各个所述通孔的位置一一对应；

升降机构，用于驱动各个所述顶针穿过与之对应的各个所述通孔上升或下降至高于或低于所述工位的位置处。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，还包括：位于所述承载盘下方的加热器；

所述加热器用于加热所述承载盘；在所述加热器上与取放片位置相对应的位置处设置有至少三个沿其厚度贯穿的顶针孔，各个所述顶针的位置与各个顶针孔的位置一一对应，各个所述顶针可穿过与之对应的各个顶针孔。

3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述承载盘能相对所述加热器转动，且在二者之间具有间隙。

4.根据权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述加热器与所述承载盘之间的间隙值小于1mm。

5.根据权利要求4所述的承载装置，其特征在于，还包括：气孔以及迷宫结构；

所述气孔位于所述承载盘和所述加热器的中部；

所述迷宫结构包括第一迷宫结构与第二迷宫结构；

所述第一迷宫结构用于防止工艺气体由所述承载装置的侧壁进入所述加热器与所述承载盘之间的间隙；

所述第二迷宫结构用于防止工艺气体由所述气孔进入所述加热器与所述承载盘之间的间隙。

6.根据权利要求5所述的承载装置，其特征在于，所述第一迷宫结构由所述加热器外侧壁与所述承载盘内侧壁上分别设置的一个或多个凹部和凸部形成，且所述凹部与所述凸部之间具有迷宫式通道。

7.根据权利要求5所述的承载装置，其特征在于，所述第二迷宫结构由所述加热器上表面与所述承载盘下表面上分别设置的一个或多个凹部和凸部形成，且所述凹部与所述凸部之间具有迷宫式通道。

8.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述顶针外壁与所述顶针孔的内壁之间的最小距离大于2mm。

9.根据权利要求1-8任一项所述的承载装置，其特征在于，相对于所述工位中心在不同半径的圆周上都分布有至少三个所述通孔。

10.根据权利要求1或2所述的承载装置，其特征在于，还包括：用于控制所述承载盘旋转的转位机构；

所述转位机构包括：第一驱动器以及设置在所述承载盘底面中心的旋转轴，所述旋转轴与所述第一驱动器连接，所述第一驱动器通过驱动所述旋转轴使所述承载盘围绕所述旋转轴中心转动。

11.根据权利要求10所述的承载装置，其特征在于，所述升降机构包括：顶升臂以及与所述顶升臂连接的第二驱动器；所述第二驱动器驱动所述顶升臂沿竖直方向运动；

所述顶升臂包括：固定盘以及与所述固定盘连接的中心臂，所述固定盘分别与各个所述顶针固定连接；

所述中心臂与所述第二驱动器连接，且同轴套设在所述旋转轴上。

12.一种工艺腔室，其特征在于，所述工艺腔室内的底部设置有承载装置，所述承载装置采用权利要求1-11任一项所述的承载装置。