[发明专利]台阶样块的刻蚀工艺参数评价方法

权利要求书

1.台阶样块的刻蚀工艺参数评价方法，其特征在于，包括：

计算台阶样块的高度d；

计算台阶样块的外尺寸a和内尺寸b；

计算台阶样块的侧面倾斜角θ；

设定参数ε评价刻蚀工艺水平，所述参数与台阶侧面倾斜角的关系如公式(1)；

ε＝sinθ (1)；

所述计算台阶的高度通过：

扫描出台阶轮廓，将台阶样块划分为A、B和C三个区域，作为测量计算区域，采用各测量计算区域宽度的1/3进行测量，计算结果通过三个测量计算区域的全区域等权的代数和平均值的方法获得，计算公式如(2)所示：

式中：

d——台阶高度，单位：nm；

A_i——区域A中Z轴位移测量值，单位：nm；

B_i——区域B中Z轴位移测量值，单位：nm；

C_i——区域C中Z轴位移测量值，单位：nm；

m——区域B测量点数；

n——区域A、C测量点数；

W——台阶的宽度；

所述计算台阶样块的外尺寸a和内尺寸b包括：

采集台阶样块图像，将台阶样块图像分为L、M、N、D、E五个区域，通过边缘检测，获取各区域边界的整像素位置；

寻找边界整像素位置的起止点；

利用轴向邻域和差算法，获取亚像素位置，进而获取边界的精准位置；

完成边界位置的检测，计算台阶样块的外尺寸a和内尺寸b。

2.如权利要求1所述的台阶样块的刻蚀工艺参数评价方法，其特征在于，

所述台阶样块的侧面倾斜角θ通过计算得到，计算公式如(3)所示

式中：

θ——台阶样块侧面倾斜角，单位：rad；

d——台阶样块的高度，单位：nm；

a——台阶样块的外尺寸，单位：nm；

b——台阶样块的内尺寸，单位：nm。

3.如权利要求1所述的台阶样块的刻蚀工艺参数评价方法，其特征在于，所述台阶样块图像使用SEM采集获得。

4.如权利要求1所述的台阶样块的刻蚀工艺参数评价方法，其特征在于，所述台阶样块的高度通过台阶仪探针扫描获得。