[发明专利]一种光电探测模块的频率响应标定装置及方法

权利要求书

1.一种光电探测模块的频率响应标定装置，其特征在于，包括：

电压检测模块，其用于测量光电探测模块的输出电压；

可调谐光源，其用于输出不同波长范围内的光至光电探测模块；

可调稳压源，其用于控制光电探测模块的偏置电压；

在特定波长λ₀和特定偏置电压V₀下，记录光电探测模块的输出电压U₀且测量光电探测模块随调制频率的频率响应S_f；然后分别调节可调谐光源和可调稳压源，记录在特定偏置电压V₀和不同光波长下光电探测模块的输出电压U_λ，以及特定波长λ₀和不同偏置电压下光电探测模块的输出电压U_V；通过U_λ与U₀求商，得到波长响应度校准因子α_λ；通过U_V与U₀求商，得到偏置电压校准因子β_V；

将频率响应S_f、波长响应度校准因子α_λ和偏置电压校准因子β_V相乘，得到不同光波长、不同偏置电压、不同调制频率下的频率响应参数，以提高光电探测的标定效率和测量精度；

在特定光波长及特定偏置电压下，采用标准的光波元件分析仪来测量光电探测模块随调制频率变化的频率响应；在特定光波长及特定偏置电压下，采用光外差法来测量光电探测模块随调制频率变化的频率响应。

2.如权利要求1所述的一种光电探测模块的频率响应标定装置，其特征在于，所述电压检测模块为电压表。

3.一种光电探测模块的频率响应标定方法，其特征在于，包括：

在特定波长λ₀和特定偏置电压V₀下，测量光电探测模块的输出电压U₀且测量光电探测模块随调制频率的频率响应S_f；

分别调节输入至光电探测模块中的光波长及偏置电压，测量在特定偏置电压V₀和不同光波长下光电探测模块的输出电压U_λ，以及特定波长λ₀和不同偏置电压下光电探测模块的输出电压U_V；

通过U_λ与U₀求商，得到波长响应度校准因子α_λ；通过U_V与U₀求商，得到偏置电压校准因子β_V；

将频率响应S_f、波长响应度校准因子α_λ和偏置电压校准因子β_V相乘，得到不同光波长、不同偏置电压、不同调制频率下的频率响应参数，以提高光电探测的标定效率和测量精度；

在特定光波长及特定偏置电压下，采用标准的光波元件分析仪来测量光电探测模块随调制频率变化的频率响应；在特定光波长及特定偏置电压下，采用光外差法来测量光电探测模块随调制频率变化的频率响应。