[发明专利]获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法及电路

权利要求书

1.一种获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将脉冲信号作为驱动信号驱动电容反馈式微扭转镜振动；确保在相邻两组驱动脉冲间隔期间，微扭转镜至少能够自由扭转0.5个周期；

S2、提取电容反馈式微扭转镜的电容反馈信号，将电容反馈信号转化为电压信号；

S3、将步骤S2中的电压信号进行放大；

S4、在相邻两组驱动脉冲间隔期间，提取放大后的电压信号，作为真实电容反馈信号。

2.根据权利要求1所述的获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法，其特征在于，步骤S4通过下述方法实现：

在一组驱动脉冲发出同时，间隔设定时间t后，开始捕获放大后的电压信号，下一组驱动脉冲发出前，停止捕获，所述t大于等于实际测试的干扰信号持续时间。

3.根据权利要求1所述的获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法，其特征在于，步骤S4通过下述方法实现：

利用模数转换电路将电压信号转换为数字信号输出到处理器，在一组驱动脉冲发出的同时，间隔设定时间t后，处理器开始处理数字信号，下一组驱动脉冲发出前，停止处理，所述t大于等于实际测试的干扰信号持续时间。

4.根据权利要求1所述的获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法，其特征在于，步骤S4通过下述方法实现：

在一组驱动脉冲发出后，间隔设定时间t后，利用开关控制放大后的电压信号通过，直至下一组驱动脉冲发出，开关断开，信号不通过，所述t大于等于实际测试的干扰信号持续时间。

5.根据权利要求1至4任一所述的获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法，其特征在于：

步骤S1中所述脉冲信号为占空比为1％～50％的脉冲宽度调制信号。

6.根据权利要求5所述的获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法，其特征在于：

所述脉冲宽度调制信号的占空比为10％。

7.根据权利要求1至4任一所述的获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法，其特征在于：

步骤S1中所述脉冲信号为N组脉冲宽度与频率可调的脉冲信号，每组脉冲宽度与频率可调的脉冲信号包括至少一个脉冲信号，N为任意正整数，将每组脉冲宽度与频率可调的脉冲信号作为一组驱动信号。

8.根据权利要求7所述的获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法，其特征在于：所述脉冲宽度与频率可调的脉冲信号为正弦脉冲或半正弦脉冲。

9.根据权利要求7所述的获取电容反馈式微扭转镜电容反馈信号的方法，其特征在于：驱动信号分别施加在微扭转镜扭转梁两侧，两侧驱动信号相位差180°。

10.一种实现权利要求1-9任一所述方法的电容反馈式微扭转镜的驱动电路，其特征在于：包括驱动信号源、电容检测电路、放大电路及信号提取电路；

所述驱动信号源的输出端与电容反馈式微扭转镜的驱动梳齿连接，用于发出驱动信号，驱动电容反馈式微扭转镜振动；确保在相邻两组驱动脉冲间隔期间，微扭转镜至少能够自由扭转0.5个周期；

所述电容检测电路的输入端与电容反馈式微扭转镜的用于电容反馈作用的梳齿连接；将电容信号转化为电压信号；所述电容检测电路的输出端与放大电路的输入端连接；所述放大电路的输出端与信号提取电路的输入端连接，所述信号提取电路在相邻两组驱动脉冲间隔期间提取放大后的电压信号。

11.根据权利要求10所述的电容反馈式微扭转镜的驱动电路，其特征在于：所述信号提取电路包括处理器，在一组驱动脉冲发出，等待设定时间t后，开始捕获放大后的电压信号，下一组驱动脉冲发出前，停止捕获，所述t大于等于实际测试的干扰信号持续时间；

或所述信号提取电路包括模数转换电路及处理器，模数转换电路采集电容反馈信号放大后的电压值，并转换为数字信号格式输出到处理器，在一组驱动脉冲发出，等待设定时间t后，处理器开始处理数字信号，下一组驱动脉冲发出前，停止处理；所述t大于等于实际测试的干扰信号持续时间；

或所述信号提取电路包括处理器及开关，在一组驱动脉冲发出，间隔设定时间t后，处理器控制开关闭合，使得放大后的电压信号通过，直至下一组驱动脉冲发出，处理器控制开关断开，信号不通过，所述t大于等于实际测试的干扰信号持续时间。