[发明专利]基于微波处理的光罩盒固化工艺及装置

权利要求书

1.一种基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：向树脂材料中加入碳材料，进行热注入成型工艺制成光罩盒，然后降至室温，将光罩盒移动到微波处理炉内，启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；使用热气流喷射光罩盒，喷射完毕后，排气，处理完成。

2.根据权利要求1所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：启动微波电源进行固化中微波电源的功率为2000W-5000W。

3.根据权利要求1所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：使用热气流喷射光罩盒中的热气流温度为150-220℃，热气流喷射的速度为5L/min-25L/min，热气流喷射时间持续20s。

4.根据权利要求1所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：碳材料与树脂材料的重量比介于1/1000和1/200之间。

5.根据权利要求1所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：树脂材料为聚碳酯酸、聚乙烯醇、聚醋酸乙烯酯、聚偏氟乙稀或聚四氟乙烯的一种或多种；碳材料为碳黑、碳纳米管或碳纤维中的一种或多种。

6.根据权利要求1-5任一所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：包括以下步骤：

(1)向树脂材料中加入碳材料，进行热注入成型工艺制成光罩盒；

(2)将光罩盒的温度冷却到室温；

(3)将光罩盒放置于微波处理炉内；

(4)启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；

(5)打开进气口，使用150-220℃的热气流喷射光罩盒，并利用气体流量控制器监控气流情况，热气流的喷射速度为5L/min-25L/min，热气流喷射时间持续20s；

(6)关闭热气流，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度，光罩盒表面温度随时间升高，在50s达到稳定值80±5℃，排气完成。

7.根据权利要求6所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺，其特征在于：步骤(4)为：启动微波电源进行固化，并利用红外温度传感器监控光罩盒表面温度；加热开始后，光罩盒表面温度随时间升高，在120s达到稳定值65-80℃，根据红外温度传感器的回馈，温度稳定28-118分钟后，关掉微波电源，加热完成。

8.一种实现权利要求1-5任一所述的基于微波处理的光罩盒固化工艺的装置，其特征在于：包括微波处理炉炉体(3)，微波处理炉炉体(3)为隧道形状，微波加热器(1)通过微波波导(2)连接微波处理炉炉体(3)，产品传送带(4)穿过隧道形状的微波处理炉炉体(3)，产品传送带(4)上放置光罩盒(8)，微波处理炉炉体(3)上设有红外温度传感器(7)，在微波处理炉炉体(3)的侧面设有进气门(9)，进气门(9)还通过进气管(10)连接加热器(11)。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于：进气管(10)与产品传送带(4)移动方向垂直。

10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于：产品传送带(4)下部设置传送带轴承(5)，微波处理炉炉体(3)底部设置支撑架(6)。