[发明专利]一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统在审
申请号: | 201910356168.9 | 申请日: | 2019-04-29 |
公开(公告)号: | CN111863575A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 邰凯平;康斯清;童浩;蔡颖锐;张达运;林冲;蔡自彪 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所;武汉嘉仪通科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;G01N23/20025 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 110016 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 原位 透射 仿真 环境 样品 系统 | ||
1.一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统,其特征在于,包括航空插头连接器、样品杆、外场微型芯片、外围电控设备和计算机,样品杆的一端设置所述航空插头连接器,样品杆的另一端设置外场微型芯片,外场微型芯片通过微电路与外围电控设备连接,外围电控设备与计算机连接。
2.根据权利要求1所述的原位透射电镜仿真环境样品杆系统,其特征在于,外场微型芯片包括可透射电子束的窗口,该窗口内放置待分析样品。
3.根据权利要求1所述的原位透射电镜仿真环境样品杆系统,其特征在于,窗口为由低维碳材料碳纳米管或者石墨烯制成的窗口。
4.根据权利要求1所述的原位透射电镜仿真环境样品杆系统,其特征在于,微电路安置于样品杆的内腔,其外部包裹有与真空环境相兼容的屏蔽绝缘材料。
5.根据权利要求1所述的原位透射电镜仿真环境样品杆系统,其特征在于,外围电控设备与微电路之间通过微线路连接,所述微线路通过航空插头连接器安置于样品杆内腔。
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