[发明专利]速率监控装置、蒸镀设备及蒸镀方法

权利要求书

1.一种速率监控装置，用于监控蒸镀设备的蒸镀速率，其特征在于，所述速率监控装置包括挡板组件、膜厚检测组件和多个晶振片，所述挡板组件包括本体、开设于所述本体上的第一开口和第二开口以及设置于所述本体上的用于封闭和暴露所述第二开口的第一挡板，所述本体遮挡所述多个晶振片，所述第一开口暴露一所述晶振片，所述第二开口暴露另一所述晶振片，所述膜厚检测组件用于检测所述第一开口暴露出的所述晶振片上所沉积蒸镀材料层的膜厚，以确定所述蒸镀速率；

所述速率监控装置还包括连接所述膜厚检测组件的第一控制器，所述第一控制器用于控制所述第一挡板暴露所述第二开口，并在所述膜厚检测组件所检测到所述第二开口暴露的晶振片的膜厚超出预设膜厚阈值时，封闭所述第二开口；或者

所述速率监控装置包括第二控制器以及连接所述第二控制器的计时器，所述控制器用于从所述计时器获取计时数据，并控制所述第一挡板以第一预设时长暴露所述第二开口后，封闭所述第二开口。

2.根据权利要求1所述的速率监控装置，其特征在于，所述挡板组件还包括连接所述本体的第二挡板，所述第二挡板用于以第二预设时长暴露所述第一开口后，封闭所述第一开口。

3.根据权利要求2所述的速率监控装置，其特征在于，所述第二挡板枢转连接所述本体。

4.根据权利要求3所述的速率监控装置，其特征在于，所述第二挡板的边沿具有缺口，所述缺口面积大于所述第一开口的面积；所述缺口随所述第二挡板移动并经过所述第一开口上方。

5.根据权利要求1所述的速率监控装置，其特征在于，所述第二开口和所述第一开口之间间隔至少一个所述晶振片。

6.根据权利要求1所述的速率监控装置，其特征在于，所述第一挡板枢转连接所述本体。

7.一种蒸镀设备，其特征在于，包括蒸镀源和权利要求1-6任一项所述的速率监控装置，所述速率监控装置内第一开口和第二开口面对所述蒸镀源。

8.一种蒸镀方法，其特征在于，所述方法通过所述权利要求7所述的蒸镀设备进行蒸镀，所述方法包括：

启动所述蒸镀源进行蒸镀；

通过所述膜厚检测组件检测所述第一开口暴露出的所述晶振片上所沉积蒸镀材料层的膜厚，以确定所述蒸镀速率；

通过所述第一挡板暴露出所述第二开口，以使得所述第二开口所暴露出的另一所述晶振片进行预沉积；

在另一所述晶振片预沉积膜厚满足预设预沉积标准时，通过所述第一挡板封闭所述第二开口。