[发明专利]一种离子束刻蚀腔体清洗装置有效
| 申请号： | 201910358546.7 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110189975B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 刘海洋;邱勇;刘小波;李娜;程实然;王铖熠;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 石艳红 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子束 刻蚀 清洗 装置 | ||
1.一种离子束刻蚀腔体清洗装置，其特征在于：包括设置在离子束刻蚀腔体中的U形电极；
离子束刻蚀腔体分别与惰性气体源和真空机组相连接；
离子束刻蚀腔体采用弧形侧壁、两块半圆形侧壁和矩形侧壁围合形成；刻蚀电极和U形电极均通过电极转轴与半圆形侧壁相连接；两根电极转轴均与矩形侧壁相平行且位于同一高度；
U形电极位于刻蚀电极和矩形侧壁之间的离子束刻蚀腔体中，U形电极能绕过刻蚀电极在离子束刻蚀腔体中进行180°转动；
U形电极中通入高压电源；
U形电极包括横向电极和两根相互平行的竖向电极；横向电极至弧形侧壁之间的距离与竖向电极至对应半圆形侧壁之间的距离相等。
2.根据权利要求1所述的离子束刻蚀腔体清洗装置，其特征在于：与刻蚀电极相连接的电极转轴为刻蚀电极转轴，与U形电极相连接的电极转轴为U形电极转轴；两根竖向电极分别为长竖向电极和短竖向电极，长竖向电极位于U形电极开口处的一端与U形电极转轴相连接，长竖向电极和短竖向电极的长度之差大于刻蚀电极转轴的半径。
3.根据权利要求2所述的离子束刻蚀腔体清洗装置，其特征在于：刻蚀电极转轴和U形电极转轴安装在同一块半圆形侧壁上。
4.根据权利要求2所述的离子束刻蚀腔体清洗装置，其特征在于：刻蚀电极转轴和U形电极转轴安装在不同的两块半圆形侧壁上。
5.根据权利要求2所述的离子束刻蚀腔体清洗装置，其特征在于：U形电极转轴上设置有与U形电极重量相匹配的配重块。
6.根据权利要求2所述的离子束刻蚀腔体清洗装置，其特征在于：刻蚀电极转轴和U形电极转轴均通过动密封机构与半圆形侧壁相连接。
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