[发明专利]一种光学显微镜下热电两场原位气氛测试系统

权利要求书

1.一种光学显微镜下热电两场原位气氛测试系统，包括光学显微镜、电学工作站、与电学工作站连接的样品台及为样品台腔室提供气氛环镜的气路系统，其特征在于，所述样品台中包括集成电路测试台（3）和设置在其下方、安装有原位芯片（2）的芯片安装台组件（1），集成电路测试台（3）中包括底座（6）、安装在底座（6）上的探针密封组件（5）和电路板（4）及限位在探针密封组件（5）中、具有弹性探头（9-2）的探针（9）；

所述探针（9）结构中包括针筒（9-1）及弹性连接在针筒（9-1）上的探头（9-2），探头（9-2）伸出探针密封组件（5）下端面与原位芯片（2）的电极（2-1）接触；

所述探针密封组件（5）结构中由上到下依次包括上密封板（12）、探针导向板（11）和下密封板（8），所述探针导向板（11）与下密封板（8）之间限位有压簧（10）；

所述探针（9）限位于上密封板（12）、探针导向板（11）和下密封板（8）形成的连通孔中，压簧（10）限位于探针导向板（11）开设的通孔（11-1）中，探针（9）上端与电路板（4）固定连接，电路板（4）下压时借助压簧（10）形成下密封板（8）与原位芯片（2）之间、探针（9）与电极（2-1）之间的自密封结构；

所述连通孔包括中部的主体部和两端的缩颈部；

所述电路板（4）、上密封板（12）和探针导向板（11）定位连接，所述下密封板（8）吊装于探针导向板（11）下方并在压簧（10）压缩及伸开时具有上下移动自由度。

2.根据权利要求1所述的原位气氛测试系统，其特征在于，所述气路系统中包括开设于芯片安装台组件（1）上的芯片容纳腔（1-1）内的进气口（1-4）和出气口（1-5），所述进气口（1-4）、出气口（1-5）分别与气源、真空泵连通，从而形成进气通道、出气通道。

3.根据权利要求2所述的原位气氛测试系统，其特征在于，所述气路系统中还包括分别设置在进气通道、出气通道上的压力计、流量计及阀门；所述气源为一氧化碳、乙炔、甲烷、氧气，二氧化碳、氢气，氮气或空气。

4.根据权利要求1所述的原位气氛测试系统，其特征在于，所述原位芯片（2）上设有样品承载膜、电极（2-1）及配套的加热组件和电学测试电路样品承载膜；所述样品承载膜为碳膜或SiN膜；所述加热组件为金属丝或SiC薄膜；所述电学测试电路为四电极IV测试电路；所述电极的宽度不小于0.4mm。

5.根据权利要求1所述的原位气氛测试系统，其特征在于，所述集成电路测试台（3）的电路板（4）上设有与电学工作站匹配的电气接口（4-2）及与原位芯片（2）样品承载膜样品承载膜对应的观察窗（4-1），所述观察窗（4-1）为石英玻璃或亚克力材质。