[发明专利]一种基于微纳复合结构和涂层的多功能薄膜及其制备方法与应用有效

专利信息
申请号: 201910360626.6 申请日: 2019-04-30
公开(公告)号: CN110323285B 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 张成鹏;姜兆亮;刘文平;马嵩华 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/18;B82Y40/00
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 张晓鹏
地址: 250061 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 复合 结构 涂层 多功能 薄膜 及其 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种基于微纳复合结构和涂层的多功能薄膜,其特征在于:包括:

柔性薄膜基材层;

微米级结构层,附着于柔性薄膜基材层上,包括呈阵列排列的若干微米级结构,微米级结构的直径为0.5μm-500μm,高度为1μm-1000μm,相邻两个微米级结构之间的间隔为10μm-1000μm;

每个微米级结构的一端附着于柔性薄膜基材上,相对的另一端设置有一级纳米结构,一级纳米结构的直径为100nm-1000nm,一级纳米结构的远离微米级结构的一端设置有二级纳米结构,二级纳米结构的直径为1nm~380nm;

每个一级纳米结构的高度为50-1000nm,相邻两个一级纳米结构之间的间距为10-1000nm;每个二级纳米结构的高度为1-900nm,相邻两个二级纳米结构之间的间距为1-800nm;疏水涂层,附着于柔性薄膜基材层、微米级结构层、一级纳米结构和二级纳米结构的裸露表面。

2.根据权利要求1所述基于微纳复合结构和涂层的多功能薄膜,其特征在于:所述微米级结构为长方体结构、圆柱形结构、棱柱结构、微透镜结构、圆台形结构或棱台结构,一级纳米结构为圆柱或圆台形结构,二级纳米结构为圆柱、圆台或圆锥形结构。

3.根据权利要求1所述基于微纳复合结构和涂层的多功能薄膜,其特征在于:微米级结构在柔性薄膜基材层上的阵列排布方式为矩形阵列、六边形阵列、菱形阵列或圆形阵列。

4.根据权利要求1所述基于微纳复合结构和涂层的多功能薄膜,其特征在于:所述疏水涂层的材料为全氟烷氧基树脂、聚四氟乙烯的一种或两种的混合材料。

5.根据权利要求1所述基于微纳复合结构和涂层的多功能薄膜,其特征在于:所述疏水涂层的厚度为3nm-200nm。

6.根据权利要求1所述基于微纳复合结构和涂层的多功能薄膜,其特征在于:柔性薄膜基材的材料为聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯、聚乙烯醇中的任意一种。

7.权利要求1-6中任一所述基于微纳复合结构和涂层的多功能薄膜的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:

采用激光直写工艺在抛光铝片表面加工微米级凹槽阵列;

采用多步阳极氧化工艺加工阶梯状纳米结构,具体为:将加工微米级凹槽阵列的抛光铝片完全浸没于酸溶液,首先进行第一次阳极氧化处理,去除铝片表面的氧化层;在第一次阳极氧化基础上,进行第二次阳极氧化处理获得一级纳米结构,然后通过第一次扩孔处理调节一级纳米结构的结构参数;在此基础上,进行第三次阳极氧化处理获得二级纳米结构,并通过第二次扩孔处理调节二级纳米结构的结构参数;最后对铝片进行表面清洗,即可获得微纳复合结构模具;

采用卷对卷压印工艺在柔性薄膜基材上压印微纳复合结构阵列;

采用等离子沉积工艺在柔性薄膜基材表面沉积疏水涂层,获得多功能表面。

8.根据权利要求7所述基于微纳复合结构和涂层的多功能薄膜的制备方法,其特征在于:多步阳极氧化工艺中的酸溶液为硫酸、磷酸或盐酸。

9.根据权利要求7所述基于微纳复合结构和涂层的多功能薄膜的制备方法,其特征在于:将电化学装置的阳极放置于阴极的上方。

10.根据权利要求7所述基于微纳复合结构和涂层的多功能薄膜的制备方法,其特征在于:第一次阳极氧化的工艺参数为:质量分数为1.5-3%的磷酸溶液,温度8-12℃,电压118-122V,时间28-32min。

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