[发明专利]一种微型压电泵

权利要求书

1.一种微型压电泵，包括泵体、泵体内部的压电振子、隔膜，其特征在于，

所述的隔膜设置在压电振子底部处，隔膜与压电振子间不接触，隔膜底部的泵体设有两个不相通的进液腔、出液腔，进液腔连接有通向外部的进液管，出液腔连接有通向外部的出液管，

所述的隔膜包括透明外膜、紧贴外膜底侧的不透明底膜，激光穿过外膜烧灼底膜实现外膜、底膜与泵体间的焊接连接，底膜对应出液腔处设有活动的第一膜舌、对应进液腔处设有活动的第二膜舌，外膜上对应第一膜舌处设有比第一膜舌小使第一膜舌仅能向出液腔一侧运动的第一孔、对应第二膜舌处设有比第二膜舌大的第二孔，第一膜舌小于出液腔，第二膜舌大于进液腔，压电振子振动带动隔膜运动产生使药液由进液腔进入出液腔的泵动力，微型压电泵的厚度不大于7mm。

2.根据权利要求1所述的一种微型压电泵，其特征在于，所述的泵体内设有一设置压电振子的压电腔，压电振子通过安装膜设置在压电腔内，压电振子底部的压电腔内设有嵌设隔膜的隔膜槽，隔膜与压电振子间保持平行，隔膜槽形状结构与隔膜形状结构吻合，底膜与隔膜槽槽壁焊接。

3.根据权利要求1所述的一种微型压电泵，其特征在于，所述的隔膜为左右对称的“8”字型结构，出液腔、进液腔关于隔膜的中间左右对称，所述的第一孔的轴心与出液腔轴心共线，所述的第二通孔的轴心与进液腔的轴心共线，第二膜舌底面紧贴进液腔开口使第二膜舌仅能腔第二通孔侧活动打开。

4.根据权利要求1所述的一种微型压电泵，其特征在于，所述的底膜为黑色。

5.根据权利要求2所述的一种微型压电泵，其特征在于，所述的隔膜槽的深度与隔膜厚度一致。

6.根据权利要求1所述的一种微型压电泵，其特征在于，所述的第一膜舌、第二膜舌的大小一致，第一膜舌、第二膜舌均为弧形。

7.根据权利要求1所述的一种微型压电泵，其特征在于，所述的第一膜舌、第二膜舌由开设在底膜上对应处的切口切开膜体形成。

8.根据权利要求1所述的一种微型压电泵，其特征在于，所述的出液腔内对应第一膜舌底部处设有限制第一膜舌打开程度的限位柱。

9.根据权利要求1所述的一种微型压电泵，其特征在于，所述的进液管、出液管均为锥形管，进液管、出液管较大的一端均朝向泵体外侧。

10.根据权利要求2所述的一种微型压电泵，其特征在于，所述的压电腔于压电振子上部处设有连通内外的散热孔。