[发明专利]掩膜版清洁装置及方法

说明书

本发明实施例涉及显示技术领域，公开了一种掩膜版清洁装置及方法，所述掩膜版清洁装置包括：用于容纳掩膜版的腔室以及喷洒结构，所述喷洒结构用于向所述掩膜版喷洒雾状清洁液。本发明提供的掩膜版清洁装置及方法能够在将掩膜版清洗干净的同时，不损伤掩膜版。

技术领域

本发明实施例涉及显示技术领域，特别涉及一种掩膜版清洁装置及方法。

背景技术

随着显示技术的急速进步，作为显示装置核心的半导体元件技术也随之得到了飞跃性的进步。对于现有的显示装置而言，有机发光二极管(OLED)作为一种电流型发光器件，因具有自发光、快速响应、宽视角和可制作在柔性衬底上等特点而越来越多地被应用于高性能显示领域当中。在OLED的制备过程中，常采用真空蒸镀工艺结合掩膜工艺形成图案化的薄膜层。即利用掩膜版通过步进式位移在基板的表面依次蒸镀上红色、绿色以及蓝色的有机电致发光材料。在此过程中，产生的掩膜污染物会吸附在掩膜版上，并可能造成掩膜版开口处的堵塞。

现有技术中，为了解决上述掩膜版污染的问题，一般采用电解法或者水帘清洗的方式去除掩膜版表面的污染物。

发明内容

本发明实施方式的目的在于提供一种掩膜版清洁装置及方法，其能够在将掩膜版清洗干净的同时，不损伤掩膜版。

为解决上述技术问题，本发明的实施方式提供了一种掩膜版清洁装置，包括：用于容纳掩膜版的腔室以及喷洒结构，所述喷洒结构用于向所述掩膜版喷洒雾状清洁液。

本发明的实施方式还提供了一种掩膜版清洁方法，包括：提供一种上述的掩膜版清洁装置；利用所述掩膜版清洁装置向掩膜版表面喷洒雾状清洁液；优选地，利用超声波震荡器震荡喷嘴，以使所述喷嘴向所述掩膜版表面喷洒雾状清洁液；或者，利用雾化器向所述掩膜版表面喷洒雾状清洁液。

本发明的实施方式相对于现有技术而言，通过设置腔室以及喷洒结构，使得在清洗掩膜版时，掩膜版可以放置在腔室中，然后经由喷洒结构向掩膜版喷洒雾状清洁液，使得清洁液能够与掩膜版表面接触，从而将掩膜版表面的污染物清洗干净；又由于清洁液呈雾状，使得喷出的清洁液液滴尺寸大幅度减小，减小了清洁液对掩膜版的冲击力，有效的避免了“非雾状清洁液的液滴尺寸较大，使得清洁液对掩膜版的冲击力较大，容易造成掩膜版的损伤”的情况的发生，从而能够在将掩膜版清洗干净的同时，不损伤掩膜版。

另外，所述喷洒结构包括震荡器以及与所述震荡器连接的喷嘴，所述喷嘴的喷头位于所述腔室中，所述震荡器震荡所述喷嘴，以使所述喷嘴喷出所述雾状清洁液。优选地，所述震荡器为超声波震荡器；通过震荡器对喷嘴进行震荡，使得在喷嘴的震荡作用下，能够将喷嘴原本会喷出的大尺寸液滴被震荡为尺寸大幅度减小的小尺寸液滴。

另外，所述震荡器的数量为一个或多个，每个所述震荡器均对应设置有一个或多个所述喷嘴。通过设置多个喷嘴，使得多个喷嘴喷出的清洁液共同形成的覆盖面更广，也就是说，能够尽可能的将清洁液喷洒至置于腔室中的掩膜版的各个表面，即掩膜版的各个表面均能与清洁液接触，进而能够最大限度的去除掩膜版表面的待清洗物；通过设置多个震荡器，可以对不同的喷嘴使用不同频率的震荡器进行震荡；通过设置一个震荡器，能够将掩膜版清洗干净的同时，不增加掩膜版清洁装置的生产成本。

另外，所述喷嘴内设有毛细管，所述雾状清洁液经所述毛细管由所述喷头喷出。由于毛细管的直径小于喷头的直径，通过在喷嘴内设置毛细管，使得清洁液可以经由直径更小的毛细管喷出，从而进一步降低了喷嘴喷出的清洁液液滴尺寸大小。

另外，所述喷洒结构包括雾化器，所述雾化器用于向所述腔室内喷洒所述雾状清洁液。

另外，所述腔室为真空腔室。通过将腔室设置为真空腔室，使得腔室处于负压状态(喷嘴内为常压)，从而能够将喷嘴内的清洁液吸出，以使喷嘴内的清洁液能够喷洒在位于真空腔室内的掩膜版上。