[发明专利]干式螺杆真空泵

权利要求书

1.一种干式螺杆真空泵，包括泵体（1）和一螺杆组件，泵体（1）上开设有进气口（1a）和排气口（1b），螺杆组件转动能使气体从进气口（1a）进入泵体（1）且从排气口（1b）排出；其特征在于，所述干式螺杆真空泵的进气量与排气量比值1＜X≤1.4；当干式螺杆真空泵的排气口（1b）与进气口（1a）之间压差Y≤0.1MPa时，排气温度与进气温度的温差Z≤35℃。

2.根据权利要求1所述的干式螺杆真空泵，其特征在于，所述螺杆组件中螺杆（2）的总圈数δ为3≤δ≤8。

3.根据权利要求1所述的干式螺杆真空泵，其特征在于，所述干式螺杆真空泵使用时排气口（1b）与管道或容器相连通，通过控制管道或容器的压力实现控制排气口（1b）与进气口（1a）之间压差Y。

4.根据权利要求1所述的干式螺杆真空泵，其特征在于，所述螺杆组件中螺杆（2）为变螺距螺杆（2），螺杆组件中进气端处的进气量与排气端处的排气量比值X1与干式螺杆真空泵的进气量与排气量比值X相同；干式螺杆真空泵不包括用于降低排气量的排气结构（3）。

5.根据权利要求1所述的干式螺杆真空泵，其特征在于，所述螺杆组件中螺杆（2）为变螺距螺杆（2），螺杆组件中进气端处的进气量与排气端处的排气量比值X1小于干式螺杆真空泵的进气量与排气量比值X，泵体（1）上安装有用于降低排气量的排气结构（3）。

6.根据权利要求5所述的干式螺杆真空泵，其特征在于，所述X1的取值为1＜X1≤1.2。

7.根据权利要求1所述的干式螺杆真空泵，其特征在于，所述螺杆组件中螺杆（2）为等螺距螺杆（2），泵体（1）上安装有用于降低排气量的排气结构（3）。

8.根据权利要求4或5或6或7所述的干式螺杆真空泵，其特征在于，所述排气结构（3）包括缩小排气口（1b）的横截面面积或调整排气口（1b）端面形状或安装在排气口（1b）内的节流片。