[发明专利]同步驱动设备的故障诊断系统及其诊断方法

说明书

本发明提供了一种同步驱动设备的故障诊断系统及其诊断方法。在利用同步控制板卡向各个分系统发送同步指示信息，以同步控制同步驱动设备中的多个分系统的同时，还利用同步控制板卡接收由各个分系统返回的同步状态信息，从而可以将返回的同步状态信息和同步指示信息进行比对，并根据同步状态信息是否与同步指示信息匹配，进一步诊断出同步驱动设备是否存在故障。根据本发明提供的故障诊断系统和诊断方法，可以及时有效的诊断出同步驱动设备的故障，缩短了同步诊断的时间，并有利于节省人力。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种同步驱动设备的故障诊断系统及其诊断方法。

背景技术

在半导体技术领域中，应用于半导体加工的设备通常包括多个分系统，多个分系统例如以通信连接，以使得各个分系统之间可以相互配合以完成对基板的加工过程。例如，在半导体的制造加工中，光刻设备是集成电路加工过程中的关键设备，随着市场不断提高对大尺寸、细线宽、高精度、高效率、低成本集成电路生产的需求，对半导体设备一直提出新的挑战。而投影扫描光刻机的提出，能满足高产率、高套刻精度的IC芯片制造的需求。

其中，为了提高产率，以同步控制的方式实现设备运行，这即要求所有涉及的子系统模块必须在扫描时序上取得严格一致，以确保参与工作的各个分系统严格按时间顺序工作，实现高产率。具体的，针对光刻设备而言，即希望曝光扫描、对准扫描、像质扫描等和调焦调平扫描等，能够有严格的同步时序。

可见，针对同步驱动设备而言，各个分系统之间的通信至关重要，这将直接影响到各个分系统之间在动作时序上是否能够精确同步。

发明内容

本发明的目的在于提供一种同步驱动设备的故障诊断方法，用于实现对同步驱动设备中多个分系统之间的通信进行故障诊断。

为解决上述技术问题，本发明提供一种同步驱动设备的故障诊断方法，所述同步驱动设备包括多个分系统，以及多个所述分系统通过同步总线连接至一同步控制板卡；其中，所述故障诊断方法包括：

所述同步控制板卡通过所述同步总线发送同步指示信息至所述分系统；

所述分系统接收所述同步指示信息以执行相应的操作，并产生同步状态信息，以及所述分系统通过所述同步总线返回同步状态信息至所述同步控制板卡；以及，

利用所述同步控制板卡比对返回的同步状态信息与同步指示信息是否匹配；当返回的同步状态信息与同步指示信息匹配，则判断所述同步驱动设备不存在通信故障；当返回的同步状态信息与同步指示信息不匹配，则判断所述同步驱动设备存在通信故障。

可选的，所述故障诊断方法为周期性执行诊断过程，所述周期性执行诊断过程的方法包括：

所述同步控制板卡向所述分系统发出当前周期的同步指示信息，并接收从所述分系统返回的上一周期的同步状态信息，以及利用所述同步控制板卡比对返回的同步状态信息与上一周期的同步指示信息是否匹配；以及，

所述分系统接收当前周期的同步指示信息以执行相应的操作，并产生对应于当前周期的同步状态信息，以及在下一周期将所述当前周期的同步状态信息返回至所述同步控制板卡；其中，所述分系统在接收所述当前周期的同步指示信息的同时，还返回与上一周期的同步指示信息相对应的同步状态信息至所述同步控制板卡。

可选的，所述同步总线根据同步总线传输协议，双向传输所述同步指示信息和所述同步状态信息；

其中，所述同步控制板卡启动同步总线传输协议的方法包括：

对所述同步控制板卡进行初始化；

利用所述同步控制板卡的时钟晶振输出连续的同步时钟信号；

利用所述同步控制板卡的伺服定时器，对输出的同步时钟信号进行时钟计数，并发出信息传输触发指令；以及，