[发明专利]一种工艺腔室

说明书

本发明公开了一种工艺腔室，用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜，包括：腔室主体，具有围成一收容空间的顶壁、前侧壁、后侧壁、左侧壁、右侧壁、底壁，所述左侧壁开设有进料口、所述右侧壁开设有出料口；限位装置，所述顶壁和所述底壁中的至少一个壁设置有所述限位装置，所述限位装置限制所述柔性衬板上下移动。本发明通过在腔室中设置限位装置，限位装置限制传动过程中的柔性衬板上下移动，从而保证柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整，防止柔性衬板在传动过程中因上下浮动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题，从而提升生产良率。

技术领域

本发明属于太阳能电池加工设备技术领域，具体地说，涉及一种工艺腔室。

背景技术

现有技术中，真空镀膜设备已经广泛地应用在光伏发电领域，尤其对于柔性衬板的镀膜，连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机具有镀膜效率高、结构紧凑、占地空间小等优势。目前制备柔性太阳能电池所采用的连续环形真空镀膜设备所采用的柔性衬板传动系统，主要由进料口放卷驱动辊轴、位于真空腔室的传动辊轴、出料口驱动辊轴三部分构成。柔性衬板在各个辊轴处与辊轴接触，并被施加一定的张力，从而使得柔性基底能够尽量保持表面平整地在环形腔室内多次改变方向向前传动。

现有的连续环形真空镀膜设备，柔性衬板仅依靠几根辊轴来传动，由于从进腔口到出腔口之间的距离过长，且柔性衬板在传动过程中，走的是环形路线，运动方向不断发生变化，导致柔性衬板在传动过程中容易上下浮动，在纵向上形成波浪形的翘曲，甚至形成褶皱。从而影响生产出的电池产品的性能，降低生产良率。

有鉴于此特提出本发明。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种工艺腔室，柔性衬板在传动过程中始终保持表面平整，防止柔性衬板在传动过程中因上下浮动导致柔性衬板上端翘曲和下端翘曲,而出现划伤或褶皱等不良问题，从而提升生产良率。

为解决上述技术问题，本发明采用技术方案的基本构思是：一种工艺腔室，用于柔性太阳能电池的柔性衬板镀膜，包括：

腔室主体，具有围成一收容空间的顶壁、前侧壁、后侧壁、左侧壁、右侧壁、底壁，所述左侧壁开设有进料口、所述右侧壁开设有出料口；

限位装置，所述顶壁和所述底壁中的至少一个壁设置有所述限位装置，所述限位装置限制所述柔性衬板上下移动。

进一步的，所述限位装置包括：

壳体，所述壳体与腔室主体连接；

限位滚轮，横向可转动的设置在所述壳体上，所述限位滚轮外表面抵靠在所述柔性衬板的边缘。

进一步的，所述限位滚轮的外表面周向设置凹槽。

进一步的，所述限位装置还包括：

夹送辊组，所述夹送辊组包括第一夹送辊和第二夹送辊，所述第一夹送辊和第二夹送辊均纵向可转动的设置在所述壳体上；

所述第一夹送辊和所述第二夹送辊之间形成夹缝，所述夹缝供所述柔性衬板通过。

进一步的，所述第一夹送辊和所述第二夹送辊之间的间距可调节。

进一步的，所述壳体包括：第一壳体，呈“E”字型；第二壳体，呈“E”字型；所述第一壳体和所述第二壳体相对设置，之间形成“工”字型腔体；

所述第一夹送辊设置第一壳体上，第二夹送辊设置第二壳体上，相对容置于所述“工”字型腔体的上腔；

所述限位滚轮一端设置在所述第一壳体上，另一端设置在所述第二壳体上，所述限位滚轮容置于所述“工”字型腔体的下腔。