[发明专利]一种太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池，自下往上依次包括：衬底（1）、透明导电玻璃层（2）、掺镁氧化锌层（3）、钝化层（4）、CdTe层（6）以及背电极缓冲层（7），还包括金属电极（8），所述金属电极（8）的正极生长在所述背电极缓冲层（7）上，所述金属电极（8）的负极生长在所述透明导电玻璃层（2）上；

其中，所述掺镁氧化锌层（3）用作透过太阳光的窗口层，所述钝化层（4）用于调节所述太阳能电池的能带结构，所述钝化层（4）为SnO₂薄膜。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池，其中，所述掺镁氧化锌层（3）的厚度为20-200nm。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池，其中，所述钝化层（4）的厚度为1-10nm。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池，其中，所述钝化层（4）和CdTe层（6）之间还设置有N型窗口层（5），所述N型窗口层（5）为CdS薄膜、CdSe薄膜或CdSe_xTe_1-x薄膜。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池，其中，所述CdS薄膜的厚度为20-100nm；所述CdSe薄膜的厚度为20-100nm，所述CdSe薄膜与所述CdTe层（6）之间扩散形成厚度为200-1000nm的CdSe_xTe_1-x薄膜；所述CdSe_xTe_1-x薄膜的厚度为200-1000nm。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池，其中，所述CdTe层（6）的厚度为3-5μm。

7.根据权利要求1所述的太阳能电池，其中，所述背电极缓冲层（7）为ZnTe薄膜，其厚度为100nm。

8.根据权利要求1所述的太阳能电池，其中，所述金属电极（8）为Cu/Au合金，所述Cu/Au合金中Cu的厚度为5nm，所述Cu/Au合金中Au的厚度为300nm。

9.一种太阳能电池的制备方法，包括：

步骤1，清洗衬底（1）和透明导电玻璃层（2）；

步骤2，在所述透明导电玻璃层（2）上自下往上依次生长掺镁氧化锌层（3）、钝化层（4）和N型窗口层（5），其中，所述钝化层（4）为SnO₂薄膜；

步骤3，对所述衬底（1）、透明导电玻璃层（2）、掺镁氧化锌层（3）、钝化层（4）和N型窗口层（5）进行热处理；

步骤4，在热处理后的所述N型窗口层（5）上自下往上依次生长CdTe层（6）、背电极缓冲层（7）以及金属电极（8）的正极，在热处理后的所述透明导电玻璃层（2）上生长所述金属电极（8）的负极。

10.根据权利要求9所述的太阳能电池的制备方法，其中，所述热处理的温度为400-700℃，保护气氛为N₂，气压为0.1-8Pa，时间为20-60min。