[发明专利]一种基于透射结构光的缺陷检测方法

权利要求书

1.一种基于透射结构光的缺陷检测方法，其特征在于，所述缺陷检测方法用于检测高透射率被测物体的表面缺陷，包括如下步骤：

步骤一、产生条纹结构光投射到被测物体表面，所述条纹结构光透射经过被测物体后产生变形条纹结构光；

步骤二、采集所述变形条纹结构光；

步骤三、将采集到的变形条纹结构光的光强图转换为调制度图；

步骤四、根据所述调制度图得到被测物体的表面缺陷信息。

2.根据权利要求1所述的基于透射结构光的缺陷检测方法，其特征在于，所述步骤一产生相移条纹结构光投射到被测物体表面，相移条纹结构光的光强为：

其中δ_n为相移大小，为初始相位分布，A(x,y)是背景光强，B(x,y)表示条纹对比度；

所述步骤二采集的所述变形条纹结构光的光强为：

其中为由被测物体折射引入的附加相位；

所述步骤三根据基于N步相移的调制度分析法将采集到的变形条纹结构光的光强图转换为调制度图，调制度

根据变形条纹结构光的光强I'_n(x,y)得到透射情况下调制度为：

其中β为被测物体的透射率，I_max(x,y)为所述步骤一中产生的相移条纹结构光的光强最大值，I_min(x,y)为所述步骤一中产生的相移条纹结构光的光强最小值。

3.根据权利要求1所述的基于透射结构光的缺陷检测方法，其特征在于，所述步骤三中将光强图转换为调制度图使用的调制度方法还包括基于傅里叶变换的调制度分析法和基于时间傅里叶变换的调制度分析法。

4.根据权利要求1至3任一项所述的基于透射结构光的缺陷检测方法，其特征在于，产生条纹结构光的结构光照明模块、被测物体和采集变形条纹结构光的图像采集模块设置在同一条光轴线上。