[发明专利]一种针对硅通孔漏电故障的绑定后硅通孔测试结构及方法在审

专利信息
申请号: 201910368166.1 申请日: 2019-05-05
公开(公告)号: CN110058113A 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 俞洋;杨智明;徐康康;彭喜元 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G01R31/02 分类号: G01R31/02
代理公司: 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人: 于歌
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 硅通孔 测试结构 漏电故障 绑定 环形振荡器 测量 传统的 集成电路测试 测试成本 测试电路 输出信号 误差影响 诊断结果 漏电 故障点 检测 测试 敏感
【权利要求书】:

1.一种针对硅通孔漏电故障的绑定后硅通孔测试结构,包括基于环形振荡器的硅通孔测试电路,其特征在于,它还包括:用于降低环形振荡器的频率的RC电路。

2.根据权利要求1所述的一种针对硅通孔漏电故障的绑定后硅通孔测试结构,其特征在于,基于环形振荡器的硅通孔测试电路包括:选择器MUX1、选择器MUX2、反相器G1、反相器G2、反相器G3、与门电路和计数器;

选择器MUX2的信号输出端连接1号硅通孔的一端,1号硅通孔的另一端连接反相器G1的信号输入端,反相器G1的信号输出端连接反相器G2的信号输入端,反相器G2的信号输出端连接反相器G3的信号输入端,反相器G3的信号输出端连接选择器MUX1的测试信号输入端,选择器MUX1的信号输出端连接2号硅通孔的一端,2号硅通孔的另一端连接选择器MUX2的测试信号输入端,

与门电路用于将2号硅通孔的另一端的输出信号与高电平脉冲信号相与,

计数器用于记录与门电路输出信号的数值。

3.根据权利要求2所述的一种针对硅通孔漏电故障的绑定后硅通孔测试结构,其特征在于,RC电路包括:电容C、电阻R1和电阻R2;

电阻R1和电阻R2串联在反相器G1和反相器G2之间的通路上,

电容C并联在反相器G2与电阻R1形成的串联电路的两端。

4.根据权利要求2或3所述的一种针对硅通孔漏电故障的绑定后硅通孔测试结构,其特征在于,2号硅通孔的另一端同时还连接与门电路的一个信号输入端。

5.根据权利要求4所述的一种针对硅通孔漏电故障的绑定后硅通孔测试结构,其特征在于,与门电路的信号输出端连接计数器的信号输入端。

6.一种针对硅通孔漏电故障的绑定后硅通孔测试方法,该方法通过基于环形振荡器的硅通孔测试电路实现,该硅通孔测试电路包括:选择器MUX1、选择器MUX2、反相器G1、反相器G2、反相器G3、与门电路和计数器;

选择器MUX2的信号输出端连接1号硅通孔的一端,1号硅通孔的另一端连接反相器G1的信号输入端,反相器G1的信号输出端连接反相器G2的信号输入端,反相器G2的信号输出端连接反相器G3的信号输入端,反相器G3的信号输出端连接选择器MUX1的测试信号输入端,选择器MUX1的信号输出端连接2号硅通孔的一端,2号硅通孔的另一端连接选择器MUX2的测试信号输入端,与门电路用于将2号硅通孔的另一端的输出信号与高电平脉冲信号相与,计数器用于记录与门电路输出信号的数值;

其特征在于,所述方法为:

利用RC电路降低环形振荡器的频率,

采集高电平脉冲信号持续期间内计数器的记数值k,并通过一下公式获得环形振荡器的周期T:

T=t/k

其中,t表示高电平脉冲信号的持续时间,

判断T与两个硅通孔无故障时的周期是否一致,是则表示两个硅通孔均无故障,否则表示两个硅通孔中至少一个存在漏电故障。

7.根据权利要求6所述的一种针对硅通孔漏电故障的绑定后硅通孔测试方法,其特征在于,RC电路包括:电容C、电阻R1和电阻R2;

电阻R1和电阻R2串联在反相器G1和反相器G2之间的通路上,

电容C并联在反相器G2与电阻R1形成的串联电路的两端。

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