[发明专利]微型器件测试腔

权利要求书

1.一种微型器件测试腔，其特征在于，用于测试微米级电子器件的电学性能，该测试腔包括：测试腔主体、透光玻璃固定板、透光玻璃、样品进口挡板以及探针管，测试腔主体与透光玻璃、样品进口挡板围成密闭空间，透光玻璃通过透光玻璃固定板固定在测试腔主体上；测试腔主体内部放置待测试样品，在待测试样品上方的测试腔主体上设置进光口，在测试腔主体的侧壁上均匀设置有多个探针管窗口，多个探针管窗口朝向测试样品所在方向倾斜设置，在每个探针管窗口内均密封连接探针管，探针管内设置探针，探针穿出探针管一端接触待测试样品；所述探针管置于测试腔主体腔内的内侧通过弹性橡胶密封，以保证测试腔的密闭环境和探针的自由移动，在测试腔体上还设置有通气孔。

2.根据权利要求1所述的微型器件测试腔，其特征在于，样品进口挡板上设置有与测试腔主体的样品进口形状匹配的凸起，样品进口挡板与测试腔主体之间密封固定。

3.根据权利要求2所述的微型器件测试腔，其特征在于，所述测试腔主体的样品进口为梯形，多个探针管窗口能够用来连接不同功能的探针。

4.根据权利要求1所述的微型器件测试腔，其特征在于，测试腔主体顶部的进光口设置有凹槽，凹槽内放置有橡胶密封圈，所述透光玻璃固定板设置有与进光口匹配的限位板，还在透光玻璃固定板上设置与进光口周围的螺栓孔的位置大小皆相同的螺栓孔，用于使用螺栓将透光玻璃固定板固定于测试腔主体上。

5.根据权利要求1所述的微型器件测试腔，其特征在于，探针管与探针管窗口接触边缘采用高真空密封脂密封，探针管嵌套在探针上。

6.根据权利要求1所述的微型器件测试腔，其特征在于，所述透光玻璃固定板为两级阶梯圆环凸台，包括大圆环部分和小圆环部分，小圆环部分的环面上均匀布置多个螺栓口，在小圆环部分的一个螺栓口外侧的大圆环部分的环面上设置有限位块；在测试腔主体的上部进光口的外边缘设置限位口，限位块与限位口配合用于快速将透光玻璃固定板与测试腔主体对齐固定。