[发明专利]窄带滤波器的光谱测量装置及测量方法有效
申请号: | 201910368686.2 | 申请日: | 2019-05-05 |
公开(公告)号: | CN110208776B | 公开(公告)日: | 2023-01-20 |
发明(设计)人: | 朱小磊;董俊发;刘继桥;竹孝鹏;毕德仓;陈卫标 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01S7/497 | 分类号: | G01S7/497;G01J3/28 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 窄带滤波器 光谱 测量 装置 测量方法 | ||
1.一种窄带滤波器的光谱测量装置,其特征在于,包括激光器(1),分束器(2),波长计(3),第一隔离器(4),放大器(5),第二隔离器(6),倍频晶体(7),准直镜(8),光阑(9),滤光片(10),分光镜(11),第一聚焦镜(12),第一探测器(13),位置控制系统(14),温度控制系统(15),窄带滤波器(16),第二聚焦镜(17),第二探测器(18),信号采集处理系统(19)和信号发生器(20);
所述的激光器(1)发射的连续光经过分束器(2)后分为两束,一束进入波长计(3)用于波长监测,另一束进入所述的第一隔离器(4),经该第一隔离器(4)的出射光经过放大器(5)放大光束功率后,进入第二隔离器(6),经该第二隔离器(6)的出射光经过倍频晶体(7)倍频成二倍频光,进入准直镜(8)后输出准直光束,该准直光束经过光阑(9)控制光斑大小后经滤光片(10)入射到所述的分光镜(11),经该分光镜(11)分束为反射光束和透射光束,所述的反射光束经所述的第一聚焦镜(12)聚焦后,被所述的第一探测器(13)接收,用于反射光束的功率监测,所述的透射光束依次经所述的窄带滤波器(16)和第二聚焦镜(17)入射到第二探测器(18)进行透射光束的功率测量;
所述的窄带滤波器(16)分别与所述的位置控制系统(14)和温度控制系统(15)相连,所述的信号采集处理系统(19)分别与所述的第一探测器(13)和第二探测器(18)相连,所述的信号发生器(20)与激光器(1)相连;
所述的信号采集处理系统(19)采集第一探测器(13)和第二探测器(18)的电信号,并传输至计算机,通过计算机获得窄带滤波器(16)的光谱透过率曲线、峰值透过率和透射光谱宽度。
2.根据权利要求1所述的窄带滤波器的光谱测量装置,其特征在于,所述的位置控制系统(14)控制窄带滤波器(16)的位置与角度,使得的窄带滤波器(16)中心波长位于高光谱分辨率激光雷达所需的波长处。
3.根据权利要求1所述的窄带滤波器的光谱测量装置,其特征在于,所述的温度控制系统(15)控制窄带滤波器(16)的温度。
4.利用权利要求1-3任一所述的窄带滤波器的光谱测量装置进行光谱测量的方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:
①通过信号发生器(20)调制激光器(1)的工作电流,改变激光器(1)的输出波长λ,使其输出波长在所需的窄带滤波器(16)中心波长附近扫频;
②通过位置控制系统(14)调整窄带滤波器(16)的位置与角度,使得的窄带滤波器(16)透射中心波长到所需波长处;
③利用温度控制系统(15)实现窄带滤波器(16)的温度控制,使窄带滤波器(16)的透过率不受外界环境温度的影响;
④通过结合信号发生器(20)调制激光器(1)的工作电流得到激光器(1)输出扫频波长信息,以及第一探测器(13)测量得到的监测入射光功率对应的响应电压V探测器1(λ)和第二探测器(18)测量得到的窄带滤波器(16)透射光功率对应的响应电压V探测器2(λ);
⑤计算激光扫频过程中窄带滤波器(16)的光谱透过率T(λ),公式如下:
其中,η分光比是分光镜(11)的分光比。
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