[发明专利]一种高功率连续激光损伤阈值自动测试装置

权利要求书

1.一种高功率连续激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，包括：三维电控目标靶台系统(100)、激光损伤时刻监测系统(200)、损伤用激光器系统(300)和程控计算机(400)；

所述三维电控目标靶台系统(100)包括靶材及三维电控目标靶台，所述靶材固定在所述三维电控目标靶台上；

所述损伤用激光器系统(300)包括损伤激光聚焦系统(301)、激光扩束系统(302)、损伤用激光器(303)、激光电源(305)、瞄准激光器(304)及其电源，所述瞄准激光器(304)和所述损伤用激光器(303)同轴，且所述瞄准激光器(304)发出的瞄准激光以及所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光依次经过所述激光扩束系统(302)和所述损伤激光聚焦系统(301)聚焦到所述靶材的同一点上，激光电源(305)与所述损伤用激光器(303)电连接，且所述激光电源(305)控制所述损伤用激光器(303)的损伤激光功率以及辐照时间；

所述激光损伤时刻监测系统(200)包括聚焦透镜一(201)、聚焦透镜二(202)、激光扩束准直镜(203)、指示光激光器(204)、双色反射镜(205)、窄带滤光片(206)、聚焦透镜三(207)、光电探测器(208)、前放及比较电路(209)、计时计算机(210)和照明激光器(211)；所述指示光激光器(204)发出的指示光经所述激光扩束准直镜(203)准直后，再依次经过所述双色反射镜(205)、所述聚焦透镜二(202)和所述聚焦透镜一(201)聚焦到所述靶材的激光损伤区域，且与所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光重合；所述照明激光器(211)发出的照明激光与所述损伤用激光器(303)发出的损伤激光重合；

从所述靶材到所述光电探测器(208)的光路轴线之间依次设置有所述聚焦透镜一(201)、所述聚焦透镜二(202)、所述双色反射镜(205)、所述窄带滤光片(206)和所述聚焦透镜三(207)；所述光电探测器(208)、所述前放及比较电路(209)和所述计时计算机(210)依次电连接；

所述程控计算机(400)和所述激光电源(305)电连接，程控计算机(400)控制所述三维电控目标靶台且通过所述激光电源(305)控制所述损伤用激光器(303)，所述程控计算机(400)受控于所述计时计算机(210)。

2.根据权利要求1所述的一种高功率连续激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，所述三维电控目标靶台包括X方向移动控制模块(101)、Y方向移动控制模块(102)、Z方向移动控制模块(103)、靶台控制箱(104)和靶台卡具(105)，所述靶台控制箱(104)控制所述X方向移动控制模块(101)、所述Y方向移动控制模块(102)和所述Z方向移动控制模块(103)的移动步长和步数，其中，所述X方向移动控制模块(101)和所述Y方向移动控制模块(102)控制所述靶台卡具(105)沿损伤用激光横向位置的移动，以调整损伤激光对靶材的损伤区域，所述Z方向移动控制模块(103)控制所述靶台卡具(105)沿损伤用激光纵向位置，以调整损伤激光对靶材损伤区域的聚焦情况；所述靶台卡具(105)用于固定所述靶材，所述程控计算机(400)控制所述靶台控制箱(104)。

3.根据权利要求2所述的一种高功率连续激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，所述指示光激光器(204)为发散角为mrad量级的连续可见光激光器，其发出的指示光经所述激光扩束准直镜(203)后为类平行光。

4.根据权利要求3所述的一种高功率连续激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，所述照明激光器(211)为可见光激光器，其波长与所述指示光激光器(204)的波长不同。

5.根据权利要求4所述的一种高功率连续激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，所述双色反射镜(205)与所述光路轴线成45°角，所述双色反射镜(205)的膜系对所述指示光激光器(204)发出的指示光全反射或大部分反射，且对所述照明激光器(211)的照明激光全透射。

6.根据权利要求4所述的一种高功率连续激光损伤阈值自动测试装置，其特征在于，所述窄带滤光片(206)的波段与所述照明激光器(211)的波长相匹配。