[发明专利]应用于多腔体镀膜装置的机械手及多腔体镀膜装置

权利要求书

1.一种应用于多腔体镀膜装置的机械手，其特征在于，其包括主轴电机、伸缩机械臂和抓取机械手；所述伸缩机械臂的一端安装于所述主轴电机的竖轴上，并在主轴电机竖轴的带动下旋转，所述伸缩机械臂的另一端连接所述抓取机械手；所述伸缩机械臂具备X轴和Z轴两个方向的运动自由度，所述抓取机械手可受控抓紧或松开；所述伸缩机械臂由X轴伸缩杆和Z轴伸缩杆构成，所述X轴伸缩杆一端连接所述主轴电机的竖轴，另一端连接所述Z轴伸缩杆的一端，所述Z轴伸缩杆的另一端连接所述抓取机械手；所述抓取机械手包括一横向展开的支撑臂，在所述支撑臂的两端分别设置有一抓取臂，两所述抓取臂之一或全部具备在所述支撑臂上相对另一抓取臂靠近或远离的活动自由度。

2.如权利要求1所述的应用于多腔体镀膜装置的机械手，其特征在于，所述X轴伸缩杆和Z轴伸缩杆均为丝杆-螺母传动结构。

3.如权利要求1所述的应用于多腔体镀膜装置的机械手，其特征在于，具备活动自由度的抓取臂与所述支撑臂之间为丝杆-螺母传动结构。

4.一种多腔体镀膜装置，其特征在于，其包括若干真空腔室，每一真空腔室均用于对待镀膜元件进行镀膜处理，且至少两个真空腔室对待镀膜元件所采用的镀膜方式不同；每相邻两真空腔室间通过一真空管道连通，所有所述真空管道两端均设置有一隔离机构，两隔离机构配合工作以使真空管道在一个时间最多仅能与相邻真空腔室之一连通；在每一真空管道中，均安装有如权利要求1-3之一所述的应用于多腔体镀膜装置的机械手，以将所述待镀膜元件在相邻两真空腔室间进行传递。

5.如权利要求4所述的多腔体镀膜装置，其特征在于，所述真空腔室至少包括第一真空腔室和第二真空腔室，所述第一真空腔室采用离子束溅射方式为待镀膜元件镀制第一膜层，所述第二真空腔室采用电子束蒸镀方式为待镀膜元件镀制第二膜层。

6.如权利要求5所述的多腔体镀膜装置，其特征在于，还包括第三真空腔室和第四真空腔室，所述第三真空腔室连接于所述第一真空腔室前端，所述第四真空腔室连接于所述第二真空腔室后端；所述第三真空腔室用于将待镀膜元件加热到镀膜温度并进行热平衡，所述第四真空腔室用于对待镀膜元件表面的薄膜进行平坦化处理。

7.如权利要求4-6任一所述的多腔体镀膜装置，其特征在于，所述真空管道为直管，所述应用于多粒子沉积的低缺陷多腔体镀膜装置的机械手的主轴电机的竖轴单次旋转角度为180度。