[发明专利]用于测量平晶绝对面形的激光干涉校准测量设备及方法

权利要求书

1.一种用于测量平晶绝对面形的激光干涉校准测量设备，其特征在于，包括：

设备主体，具有准直透镜；

参考平晶承载装置，与所述准直透镜同光轴设置；

平晶旋转承载装置，与所述参考平晶承载装置同光轴设置，用于作为在水平式测量状态时的待测平晶承载装置；以及

平晶承托装置，替代所述平晶旋转承载装置，用于作为在立式测量状态时的待测平晶承载装置，

其中，所述平晶旋转承载装置具有固定盘、旋转承载部以及限定部，

所述固定盘用于固定安装，

所述旋转承载部包含可转动地设置在所述固定盘上并且能够在第一位置和第二位置之间进行切换的旋转盘以及设置在该旋转盘上的待测平晶承载盘，

所述限定部用于在所述旋转盘切换至所述第一位置时将所述旋转盘限定在所述第一位置以及在所述旋转盘切换至所述第二位置时将所述旋转盘限定在所述第二位置，包含设置在所述旋转盘的侧表面的一个限位件以及分别位于该限位件的两侧并且沿所述固定盘的圆周方向间隔设置在该固定盘的侧表面的两个阻挡件，所述阻挡件的边缘与所述限位件相接触，用于阻挡所述旋转盘的转动，

所述第一位置作为第一限定状态位置，是所述限位件与一个所述阻挡件的边缘相接触时所述限位件所处的位置，

所述第二位置作为第二限定状态位置，是所述限位件与另一个所述阻挡件的边缘相接触时所述限位件所处的位置，

所述限位件的中心与所述旋转盘的圆心连线分别在所述第一限位状态位置和所述第二限位状态位置时所成的夹角为90°，

所述平晶承托装置具有安装座以及承托部，

所述安装座用于固定安装，

所述承托部设置在所述安装座上，包含承托座以及设置在该承托座上的承托构件，

所述承托构件具有软性的承托平面。

2.根据权利要求1所述的用于测量平晶绝对面形的激光干涉校准测量设备，其特征在于：

其中，所述限位件含有由能够被磁力吸引的金属材料制成的限位块，

所述阻挡件含有阻挡块以及嵌设在该阻挡块朝向所述限位块的侧部的永磁体。

3.根据权利要求2所述的用于测量平晶绝对面形的激光干涉校准测量设备，其特征在于：

其中，所述限位块上设有用于使所述限位块与所述阻挡块相分离的分离单元，

所述分离单元由偏心轮、偏心轮转轴以及扳手构成，

所述限位块设有所述偏心轮的形状相匹配的偏心轮安装槽以及与该偏心轮安装槽相连通的偏心轮转轴安装孔，

所述偏心轮设置在所述偏心轮安装槽内，

所述偏心轮转轴的一端穿过所述偏心轮转轴安装孔并与所述偏心轮相连接，另一端安装有所述扳手。

4.根据权利要求1所述的用于测量平晶绝对面形的激光干涉校准测量设备，其特征在于：

其中，所述平晶旋转承载装置还具有设置在所述待测平晶承载盘上用于对所述待测平晶的中心进行校准的中心校准部，

所述中心校准部包含环形框、两根准线以及两个分别用于对所述两根准线进行紧固并沿所述环形框的圆周方向调节的紧固调节单元，

所述环形框设有两个具有沿该环形框的圆周方向间隔90°的准线安装孔以及分别与两个所述准线安装孔对向设置并且沿所述环形框的圆周方向延伸的两个准线安装槽，

所述两个紧固调节单元分别与所述两个准线安装槽相对应并且安装在所述环形框上，

所述准线的一端固定设置在所述准线安装孔内，另一端穿过对应的所述准线安装槽并与对应的所述紧固调节单元相连接。