[发明专利]干燥系统与控制方法

权利要求书

1.一种控制方法，适用于干燥系统，其特征在于，所述干燥系统包括抽气模块、控制模块以及感测模块，其中所述抽气模块、所述控制模块以及所述感测模块彼此电性连接，且所述抽气模块连接于腔体，所述控制方法包括：

所述控制模块驱动所述抽气模块将所述腔体内部的气体抽出；

所述感测模块将所述腔体内部的残余气体离子化以取得气体数据，并将所述气体数据传递至所述控制模块；以及

所述控制模块判断所述气体数据是否符合预定标准；

其中，当所述控制模块判断所述气体数据不符合所述预定标准时，所述控制模块控制所述抽气模块继续将所述腔体内部的所述残余气体抽出；其中，当所述控制模块判断所述气体数据符合所述预定标准时，

所述控制模块终止所述抽气模块运作。

2.如权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述抽气模块包括气体帮浦以及抽气管线，且所述控制方法更包括：

将所述气体帮浦通过所述抽气管线连接于所述腔体。

3.如权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述感测模块包括微量气体分析仪以及压力传感器，所述控制方法更包括：

所述微量气体分析仪将所述腔体内部的所述残余气体离子化并分析所述残余气体的气体离子荷质比，以取得所述残余气体的各组成气体的分压；

所述压力传感器感测所述残余气体的气体压力；以及

所述控制模块根据所述气体压力及各所述组成气体的分压，计算组成各所述组成气体的元素的重量百分比，其中所述气体数据包括所述重量百分比。

4.如权利要求3所述的控制方法，其特征在于，所述所述控制模块根据所述气体压力及各所述组成气体的分压，计算组成各所述组成气体的元素的所述重量百分比包括：

所述控制模块根据所述气体压力及各所述组成气体的分压，计算各所述组成气体的碳元素的重量百分比、氢元素的重量百分比、氧元素的重量百分比以及水分子的重量百分比，其中所述预定标准包括所述碳元素的重量百分比、所述氢元素的重量百分比、所述氧元素的重量百分比以及所述水分子的重量百分比的至少其中之一。

5.如权利要求4所述的控制方法，其特征在于，所述碳元素的重量百分比为0.05％、所述氢元素的重量百分比为0.05％、所述氧元素的重量百分比为0.005％以及所述水分子的重量百分比为0.0001％。

6.一种干燥系统，其特征在于，包括：

控制模块；

抽气模块，电性连接于所述控制模块且连接于腔体，所述抽气模块用以将所述腔体内部的气体抽出；以及

感测模块，电性连接于所述控制模块，所述感测模块连接于所述腔体且用以将所述腔体内部的残余气体离子化以取得气体数据，并将所述气体数据传递至所述控制模块；

其中，所述控制模块用以判断所述气体数据是否符合预定标准，当所述控制模块判断所述气体数据不符合所述预定标准时，所述控制模块控制所述抽气模块继续将所述腔体内部的所述残余气体抽出；当所述控制模块判断所述气体数据符合所述预定标准时，所述控制模块终止所述抽气模块运作。

7.如权利要求6所述的干燥系统，其特征在于，所述抽气模块包括：

气体帮浦；以及

抽气管线，连接于所述气体帮浦与所述腔体。

8.如权利要求6所述的干燥系统，其特征在于，所述感测模块包括微量气体分析仪及压力传感器，所述微量气体分析仪用以将所述腔体内部的所述残余气体离子化并分析所述腔体内部的所述残余气体的气体离子荷质比，以取得所述残余气体的各组成气体的分压，所述压力传感器用以感测所述残余气体的气体压力，且所述控制模块根据所述气体压力以及各所述组成气体的分压，计算组成各所述组成气体的元素的重量百分比，其中所述气体数据报括所述重量百分比。