[发明专利]一种晶圆盒的吊装装置

权利要求书

1.一种晶圆盒的吊装装置，其特征在于：包括定板和位于所述定板下侧的动板，所述动板通过若干根柔性绳与所述定板连接，所述动板在所述柔性绳自然垂直时呈水平状态，所述动板的两侧设有抓取部件，所述抓取部件连接有移动机构，所述抓取部件在所述移动机构的驱动下能够相向或异向运动，每个所述抓取部件与所述定板之间均设有一锁死机构，所述锁死机构能够防止所述抓取部件在吊装着晶圆盒时向相反的方向运动，所述锁死机构包括锁杆，所述锁杆的下端与所述抓取部件固定连接，所述锁杆的上端贯穿所述定板，所述定板上开设有供所述锁杆滑动的滑槽，所述滑槽相邻的一端设有卡槽，所述锁杆的上端设有于所述卡槽相匹配的卡头。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒的吊装装置，其特征在于：所述柔性绳的上端通过长度调节机构与所述定板连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒的吊装装置，其特征在于：所述长度调节机构包括螺纹管、锁紧螺母和卡接块，所述螺纹管与所述定板通过螺纹连接，所述锁紧螺母套设在所述螺纹管上，所述卡接块卡接于所述螺纹管上侧且与所述柔性绳固定连接，所述柔性绳贯穿所述螺纹管。

4.根据权利要求1所述的晶圆盒的吊装装置，其特征在于：所述移动机构包括电机、丝杠和滚珠螺母，所述电机固定设置在所述动板上，所述电机与所述丝杠传动连接，两个所述抓取部件分别与一所述滚珠螺母连接，所述滚珠螺母套设在所述丝杠上，所述丝杠两侧的螺纹旋向相反。

5.根据权利要求1所述的晶圆盒的吊装装置，其特征在于：所述抓取部件通过导杆与所述动板滑动连接。

6.根据权利要求1所述的晶圆盒的吊装装置，其特征在于：所述柔性绳为四根且均布在所述定板四角处，所述柔性绳为钢丝绳，所述钢丝绳外套设有防护套。

7.根据权利要求1所述的晶圆盒的吊装装置，其特征在于：所述定板通过固定杆连接有外壳，所述外壳与无人搬运车的吊带连接。