[发明专利]一种晶振的制造方法在审

专利信息
申请号: 201910374593.0 申请日: 2019-05-07
公开(公告)号: CN110086443A 公开(公告)日: 2019-08-02
发明(设计)人: 冯广智;赵延民;李军;叶言明 申请(专利权)人: 中山市镭通激光科技有限公司
主分类号: H03H3/02 分类号: H03H3/02;H03H9/19
代理公司: 广东中亿律师事务所 44277 代理人: 杜海江
地址: 528400 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 陶瓷连板 晶振 盖板 种晶 焊接 表面金属化 激光划线机 激光切割机 方法使用 封装效率 基座边缘 晶片固定 精密激光 切割分离 烟尘污染 阵列分布 焊接机 裂片机 有效地 再利用 后移 晶片 裂片 整板 划线 切割 制造 激光 扫描 陶瓷 加工
【权利要求书】:

1.一种晶振制造方法,其特征在于先准备陶瓷连板(1)、晶片(3)和盖板(5),对所述陶瓷连板(1)进行加工,使所述陶瓷连板(1)的一侧形成有若干个呈阵列分布的晶振基座(2)后作表面金属化处理,将晶片(3)固定在所述晶振基座(2)内后和所述盖板(5)一并固定于精密激光焊接机内,在特定条件下对每个晶振基座(2)边缘进行扫描焊接,完成后移至激光切割机对所述盖板(5)进行切割分离,再利用陶瓷激光划线机对所述陶瓷连板(1)的另一侧切割划线或直接裂片成若干个单元,最后用裂片机将所述陶瓷连板(1)中的每个晶振器件彻底分离。

2.根据权利要求1所述一种晶振制造方法,其特征在于步骤具体包括以下:

A、准备陶瓷连板(1)、晶片(3)和盖板(5),对所述陶瓷连板进行工艺加工,使所述陶瓷连板(1)一侧的表面形成有若干个呈阵列分布的晶振基座(2)后进行表面金属化处理;

B、将所述晶片(3)固定于所述晶振基座(2)内与所述陶瓷连板(1)电极连接后,一并固定于精密激光焊接机工作仓内的工作载台(4)上;

C、将所述盖板(5)固定于所述陶瓷连板(1)上,然后使所述工作仓内处于氮气或真空条件下,用激光对每一个所述晶振基座(2)的边缘逐颗进行扫描焊接;

D、将封焊好的器件移至激光切割机对所述盖板(5)依照单颗晶振尺寸进行切割分离,利用陶瓷激光划线机在陶瓷连板(1)的另一侧按照单颗晶振尺寸切割划线或直接裂片成若干个单元;

E、最后用裂片机将陶瓷连板中的每个器件彻底分离开来,得到单个晶振器件。

3.根据权利要求2所述的一种晶振制造方法,其特征在于所述工作载台(4)上设置有定位装置,所述定位装置设有定位柱(41),所述陶瓷连板(1)设置有定位孔(11),所述定位柱(41)和定位孔(11)相匹配。

4.根据权利要求2所述的一种晶振制造方法,其特征在于所述工作载台(4)设置有电磁盘(6),所述电磁盘(6)电连接有控制器,所述电磁盘(6)置于所述工作载台(4)和陶瓷连板(1)之间。

5.根据权利要求1所述的一种晶振制造方法,其特征在于所述盖板为金属材料,厚度在20-200um。

6.根据权利要求1所述的一种晶振制造方法,其特征在于所述晶振基座内设有凹槽。

7.根据权利要求2所述的一种晶振制造方法,其特征在于所述工作仓外侧安装有真空泵(7)和真空表(8)。

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