[发明专利]晶圆安装机构

说明书

本发明提供了一种晶圆安装机构，包括；旋转座，所述旋转座转动连接在基座上；两个摆臂，两个所述摆臂对称设置在所述旋转座左右两侧，且两个所述摆臂能分别上下移动的连接在所述旋转座上，两个所述摆臂的自由端均具有用于抓取晶圆的夹口。通过旋转座带动两个摆臂转动，并且两个摆臂能相对于旋转座上下移动，以使一个摆臂可以抓取晶圆，另一个摆臂同时将其上的晶圆安装到石墨盘上，从而提高通过摆臂拾取晶圆的效率。

技术领域

本发明涉及一种晶圆安装机构。

背景技术

晶圆一般都是储存在扩晶环上，将扩晶环上的晶圆拾取到石墨盘上，目前有两种方法，方法一是人工采用吸盘的方式，但是这种方法的效率不高，不适用于高速的生产使用，方法二是通过摆臂的形式自动抓取，通过摆臂的转动从而将扩晶环上的晶圆拾取到石墨盘上，但是这种拾取方式只能先抓取在放置，一个工序只能完成一个晶圆的安装，效率也得不到实质的提高。

发明内容

本发明的目的是提供一种晶圆安装机构，以解决在通过摆臂拾取晶圆时效率不高的问题。

本发明的上述目的可采用下列技术方案来实现：

本发明提供一种晶圆安装机构，包括；

旋转座，所述旋转座转动连接在固定的基座上；

两个摆臂，两个所述摆臂对称设置在所述旋转座的左右两侧，且两个所述摆臂位于同一条水平方向的直线上，所述旋转座能带动两个所述摆臂转动；

且两个所述摆臂能分别上下滑动的连接在所述旋转座上，两个所述摆臂的自由端均具有用于抓取晶圆的夹口。

进一步的，两个所述摆臂分别连接在两个连接座上，所述旋转座的两个侧面均连接有一对沿竖直方向设置的第一导轨，各所述第一导轨上均滑动连接有第一滑块，所述第一滑块连接在相对应的所述连接座上。

进一步的，所述基座的下端设有两个支座，所述旋转座位于两个所述支座之间；

两个所述支座上分别连接有能上下移动的半圆形上下转环，两个所述半圆形上下转环分别环绕在所述旋转座的左右两侧，各所述半圆形上下转环均具有半圆形滑道；

两个所述连接座上均连接有支撑块，两个所述支撑块上均转动连接有滚轮，两个所述滚轮分别在相对应的所述半圆形滑道内滚动。

进一步的，两个所述支座上分别设置有直线电机，所述直线电机的固定端连接在所述支座上，所述直线电机的运动端通过滑座连接在所述半圆形上下转环上。

进一步的，所述支座上连接有沿竖直方向设置的两个第二导轨，所述直线电机位于两个所述第二导轨之间；

各所述第二导轨上均滑动连接有第二滑块，各所述第二滑块连接在相对应的所述滑座上。

进一步的，所述半圆形滑道内设有两个半圆形耐磨板，两个所述半圆形耐磨板上下设置形成所述半圆形滑道，所述滚轮滚动设置在两个所述半圆形耐磨板之间。

进一步的，两个所述半圆形上下转环沿竖直方向间隔设置。

进一步的，所述基座的两侧分别连接有镜头筒，所述镜头筒的下端连接有环形灯。

进一步的，所述基座上安装有驱动电机，所述驱动电机的转轴竖直向下设置，所述旋转座固定设置在所述驱动电机的转轴上。

本发明的晶圆安装机构的特点及优点是：通过旋转座带动两个摆臂转动，并且两个摆臂能相对于旋转座上下移动，以使一个摆臂可以抓取晶圆，另一个摆臂同时将其上的晶圆安装到石墨盘上，从而提高通过摆臂拾取晶圆的效率。

附图说明