[发明专利]微型元件

权利要求书

1.一种微型元件，其特征在于，包括：

磊晶结构，具有彼此相对的顶表面与底表面以及连接所述顶表面与所述底表面的周围表面；

绝缘层，覆盖所述磊晶结构的所述周围表面与所述底表面，且暴露出所述周围表面的部分；

透光层，覆盖所述磊晶结构的所述顶表面，并延伸覆盖至少部分所述周围表面的所述部分；以及

导光层，配置于部分所述透光层上，其中所述透光层位于所述导光层与所述磊晶结构的所述顶表面之间，所述导光层于平面上的正投影宽度大于所述磊晶结构于所述平面上的正投影宽度，所述导光层于所述平面上的正投影完全覆盖所述磊晶结构于所述平面上的正投影，且所述导光层的折射率小于所述透光层的折射率，所述透光层的折射率小于所述磊晶结构的折射率，所述导光层于所述顶表面上的正投影面积与所述透光层于所述顶表面上的正投影面积的比值大于等于0.8且小于1，所述绝缘层与所述周围表面的接触面和所述透光层与所述周围表面的接触面位于同一连续平面上，所述绝缘层和所述透光层在所述周围表面上相邻，且所述绝缘层和所述透光层之间具有空气间隙。

2.根据权利要求1所述的微型元件，其特征在于，所述绝缘层的材料与所述透光层的材料相同。

3.根据权利要求1所述的微型元件，其特征在于，所述绝缘层在所述周围表面上的第一厚度等于所述透光层在所述周围表面上的第二厚度。

4.根据权利要求1所述的微型元件，其特征在于，所述绝缘层在所述周围表面上的第一厚度小于所述透光层在所述周围表面上的第二厚度。

5.根据权利要求4所述的微型元件，其特征在于，所述绝缘层的所述第一厚度与所述透光层的所述第二厚度的比值大于等于0.8。

6.根据权利要求1所述的微型元件，其特征在于，所述绝缘层在所述周围表面上的第一厚度大于所述透光层在所述周围表面上的第二厚度。

7.根据权利要求6所述的微型元件，其特征在于，所述绝缘层的所述第一厚度与所述透光层的所述第二厚度的比值小于等于8。

8.根据权利要求1所述的微型元件，其特征在于，所述透光层完全覆盖所述周围表面的所述部分且连接至所述绝缘层。

9.根据权利要求1所述的微型元件，其特征在于，所述绝缘层与所述透光层之间的所述空气间隙具有垂直间距，且所述垂直间距小于等于0.5微米。

10.根据权利要求1所述的微型元件，其特征在于，所述透光层从所述顶表面至所述周围表面的第一垂直高度与所述磊晶结构的第二垂直高度的比值大于等于0.05且小于等于0.25。

11.根据权利要求10所述的微型元件，其特征在于，所述第一垂直高度大于等于0.5微米且小于等于1微米。

12.根据权利要求1所述的微型元件，其特征在于，所述透光层与所述磊晶结构的所述顶表面的接触面的均方根粗糙度大于所述透光层的出光面。