[发明专利]一种芯粒分选方法及芯粒分选结构在审

专利信息
申请号: 201910375975.5 申请日: 2019-05-07
公开(公告)号: CN111906053A 公开(公告)日: 2020-11-10
发明(设计)人: 吴贵阳;刘兴波;王胜利 申请(专利权)人: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
主分类号: B07C5/36 分类号: B07C5/36;B07C5/342
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 分选 方法 结构
【说明书】:

发明提出一种芯粒分选方法及芯粒分选结构。芯粒分选方法为,第一光源穿过第一掩膜部照射第一固定膜,使第一固定膜上需要分选芯粒粘附性减弱;第二光源穿过第二掩膜部照射第二固定膜,使第二固定膜对应第一固定膜上不需分选芯粒位置粘附性减弱;第二固定膜贴合芯粒,芯粒位于第一固定膜和第二固定膜之间;第二固定膜远离第一固定膜,使第一固定膜上需要分选的芯粒与第一固定膜分离且粘附于第二固定膜。

技术领域

本发明涉及一种芯粒分选方法及芯粒分选结构。

背景技术

对于LED芯粒的分选有多种方式,如常规的采用吸嘴将吸附在蓝膜上的LED芯粒吸附,实现对LED芯粒的分选。

发明内容

申请人提出了一种不同于现有技术的LED芯粒分选方法及芯粒分选结构。

本发明的技术方案为:一种芯粒分选方法,

S1:第一光源穿过第一掩膜部照射第一固定膜,使第一固定膜上需要分选芯粒粘附性减弱;

S2:第二光源穿过第二掩膜部照射第二固定膜,使第二固定膜对应第一固定膜上不需分选芯粒位置粘附性减弱;

S3:第二固定膜贴合芯粒,芯粒位于第一固定膜和第二固定膜之间;

S4:第二固定膜远离第一固定膜,使第一固定膜上需要分选的芯粒与第一固定膜分离且粘附于第二固定膜。

进一步的,所述第一掩膜部和/或第二掩膜部为LCD透光屏。

进一步的,所述第一光源为UV光源,第一固定膜为UV膜。

进一步的,S3还包括,第一固定膜进行高频振荡。

进一步的,还包括,

S5:视觉系统透过第一掩膜部观察第一固定膜上需分离芯粒位置透光。

进一步的,所述芯粒分选方法还包括,

S6:将第一固定膜和第二固定膜之间放入板光源,视觉系统通过第一掩膜部观察第一固定膜图像和/或视觉系统通过第二掩膜部观察第二固定膜图像。

进一步的,所述第一掩膜部对应需要分选芯粒的位置能够透光,使第一光源能够照射第一固定膜。

进一步的,所述第一掩膜部对应需要分选芯粒的位置能够透光,使第一光源能够照射第一固定膜。

一种芯粒分选结构,所述芯粒分选结构包括,

第一光源;

第一掩膜部,能够调整透光位置,使第一光源照射的光能够穿过;

第二光源;

第二掩膜部,位于第一掩膜部背离第一光源的一侧,且第一掩膜部与第二掩膜部之间设置有置膜空间;第二掩膜部能够调整透光位置,使第二光源照射的光能够穿过;在分选芯粒区域,第一掩膜部透光位置正对应第二掩膜部不透光位置,第一掩膜部不透光正对应第二掩膜部透光位置。

进一步的,所述芯粒分选结构还包括,

第一固定膜,待分选芯粒粘附在第一固定膜,第一固定膜为UV膜;

第二固定膜,用于粘附分选的芯粒;第二固定膜为UV膜;

第一光源和第二光源均为UV光源;

芯粒位于第一固定膜和第二固定膜之间,所述第一固定膜和第二固定膜位于置膜空间。

进一步的,所述芯粒分选结构还包括视觉系统和板光源装置,所述板光源装置能够伸展至第一固定膜和第二固定膜之间;所述视觉系统用于观察分选后的第一固定膜。

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