[发明专利]一种以旋压方法制备钼管靶的方法

权利要求书

1.一种以旋压方法制备钼管靶的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：选粉，选取合适的钼粉，所述钼粉选取粒度3.8-4.0μm，松装密度1.0-1.2g/cm3；

S2：压制，将选好的钼粉装入模具，震实后装入冷等静压机加压压制，所述压机加压压制的压强为180-220Mpa；

S3：车粉，将压制后的钼粉使用数控立车机床进行加工，所述加工后尺寸为外径φ320mm，内径φ250mm，长度1.4m,带底的CIP坯料；

S4：烧结，将加工好的钼粉脱模后放入氢气保护感应烧结炉进行高温烧结成型，所述烧结温度1800-2200℃，保温4-6小时,得到密度＝9.9g/cm^3,外径280mm,内径225mm,长度1.2m,带底的烧结坯；

S5：旋压，将烧结后的钼管坯穿入芯轴放在3旋轮强力旋压机上采用错距旋压法进行多道次旋压加工，通过同步键传递扭矩,旋压过程中使用氧气丙烷烤火加热，加热温度800-850℃，旋轮攻角为50°圆角半径分别为20mm、15mm、10mm,得到外径169mm,内径133mm,长度2.9m的旋压钼管；

S6：退火，将旋压后的钼管放入真空炉进行退火处理，退火温度800-1000℃，保温3-5小时；

S7：检验，负责检验化学成份、硬度、密度、金相；

S8：机械加工，将钼管用车床车削外壁及两端，用深孔钻加工内壁，再经过研磨、抛光等工序加工至成品尺寸:外径167mm,内径135mm,长度2692mm；

S9：上机试验，成膜试验。

2.根据权利要求1所述的一种以旋压方法制备钼管靶的方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述钼粉选取粒度3.9μm，松装密度1.1g/cm3。

3.根据权利要求1所述的一种以旋压方法制备钼管靶的方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述压机加压压制的压强为200Mpa。

4.根据权利要求1所述的一种以旋压方法制备钼管靶的方法，其特征在于，所述步骤S3中，所述加工后尺寸为外径φ320mm，内径φ250mm，长度1.4m.CIP带底。

5.根据权利要求1所述的一种以旋压方法制备钼管靶的方法，其特征在于，所述步骤S4中，所述烧结温度2000℃，保温4-6小时,烧结管坯带底。

6.根据权利要求1所述的一种以旋压方法制备钼管靶的方法，其特征在于，所述步骤S5中，所述旋压过程中使用氧气丙烷烤火加热，加热温度830℃，旋轮攻角为50°圆角半径分别为20mm、15mm、10mm,多道次旋压,通过同步键传递扭矩。

7.根据权利要求1所述的一种以旋压方法制备钼管靶的方法，其特征在于，所述步骤S6中，所述退火温度900℃，保温4小时。