[发明专利]一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置

说明书

本发明公开了一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置，涉及半导体生产技术领域，解决了滚轮传送段静电不良损坏的问题，具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置包括滚轮、静电压测试设备、离子化设备和静电抑制机构，滚轮构成传送带，滚轮上方放置有需要进行加工的玻璃基板，所述静电压测试设备位于传送带的上方，用于判断玻璃基板的静电带电水平，离子化设备安装在传送带的下方区域，静电抑制机构安装在离子化设备无法安装的区域；具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置有效解决平板显示产品前段制造中不同滚轮传送带中的产品静电不良损失与产品静电可靠性损失问题。

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置。

背景技术

国内FPD（Flat Panel Display，平板显示）产品前段制造企业工厂中的滚轮传送段，不时发现由于静电因素所导致的TFT（Thin Film Transistor，薄膜晶体管）Array（阵列）玻璃ESD（Electro-Static Discharge，静电放电）不良损坏案例，给国内的FPD产品制造企业造成了生产良品率与产品可靠性品质降级的行业损失，静电损坏位置主要分为以下三种情形：

情形一：如图1所示，金属线路Ⅰ102和金属线路Ⅱ103均为与绝缘介质膜层Ⅰ101同膜层内隔离开的线路，图1中A为静电损坏位置。

情形二：如图2所示，金属线路Ⅲ203、金属线路Ⅳ204均为与绝缘介质膜层Ⅲ202同膜层内隔离开的线路，绝缘介质膜层Ⅱ201将同膜层内的金属线路Ⅲ203、金属线路Ⅳ204与不同膜层内的金属线路Ⅴ205隔离开来。图2中B、C、D均为不同的静电损坏易于发生的位置。

情形三：如图3所示，金属线路Ⅵ302、金属线路Ⅶ303分别位于绝缘介质膜层Ⅳ301上下两侧不同膜层内，图3中E为静电损坏位置。

国内FPD产品前段制造企业当前对于滚轮传送段采取的静电防护措施，包括安装离子化设备、更换滚轮材质等并未实现有效解决FPD产品在滚轮传送段的静电不良损坏问题。

因此，我们提出一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置解决上述问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是针对上述缺陷，提供一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置，以解决滚轮传送段静电不良损坏的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置，包括滚轮、静电压测试设备、离子化设备和静电抑制机构，滚轮构成传送带，滚轮上方放置有需要进行加工的玻璃基板，所述静电压测试设备位于传送带的上方，用于判断玻璃基板的静电带电水平，离子化设备安装在传送带的下方区域，静电抑制机构安装在传送带下方的设定区域。

作为本发明进一步的方案，所述离子化设备安装在传送带下方区域的中端和末端。

作为本发明进一步的方案，所述离子化设备安装在传送带下方区域的前端。

作为本发明进一步的方案，所述设定区域为离子化设备无法安装的区域。

作为本发明进一步的方案，所述静电抑制机构的结构为整体式、方格网式、斜网式、条纹式和筛孔式中的一种，具体结构根据滚轮传送带的特别条件进行相适应选取。

作为本发明进一步的方案，所述静电抑制机构位于滚轮之间，同时静电抑制机构与地线连接。

综上所述，本发明与现有技术相比具有以下有益效果：一种具有静电安全技术方案的平板显示产品滚轮传送装置考虑到了FPD产品制造工厂中的生产线体差异性因素，并相应提出了针对两种不同现实情形滚轮传送带的静电防护技术方案，可以有效解决FPD产品前段制造中不同滚轮传送带中的产品静电不良损失与产品静电可靠性损失问题。