[发明专利]具备洁净气体监测功能的激光头装置及相应的监测方法

权利要求书

1.一种具备洁净气体监测功能的激光头装置，该激光头装置通入洁净气体，其特征在于，所述的激光头装置包括洁净气体检测模块，用于对通入所述的激光头装置中的洁净气体进行检测；

所述的洁净气体检测模块与外部的数控系统相连接，所述的数控系统根据所述的洁净气体检测模块的检测结果判断是否需要触发报警。

2.根据权利要求1所述的具备洁净气体监测功能的激光头装置，其特征在于，所述的洁净气体检测模块包括：

气压传感器，用于检测通入所述的激光头装置中的洁净气体的气压；

气体洁净度检测仪，用于判断所述的激光头装置内部悬浮颗粒物浓度；

所述的气压传感器及气体洁净度检测仪均与所述的外部的数控系统相连接，所述的数控系统根据所述的气压传感器及气体洁净度检测仪的检测结果判断是否需要触发报警。

3.根据权利要求2所述的具备洁净气体监测功能的激光头装置，其特征在于，所述的气压传感器及气体洁净度检测仪均通过主控板与所述的数控系统相连接，所述的主控板用于实现所述的气压传感器及气体洁净度检测仪与所述的数控系统的数据传输，并对所述的气压传感器及气体洁净度检测仪进行控制。

4.根据权利要求2所述的具备洁净气体监测功能的激光头装置，其特征在于，所述的气体洁净度检测仪利用激光散射原理可检测空气中0.3～10微米悬浮颗粒物浓度。

5.根据权利要求4所述的具备洁净气体监测功能的激光头装置，其特征在于，所述的气体洁净度检测仪包括相互配合工作的激光发射部件及激光监测部件。

6.一种基于权利要求1～5中任一项所述的装置实现对激光头装置中洁净气体进行监测的方法，其特征在于，所述的方法为：

所述的洁净气体检测模块对通入所述的激光头装置中的洁净气体进行检测，所述的数控系统根据所述的洁净气体检测模块的检测结果判断是否需要触发报警。

7.根据权利要求6所述的对激光头装置中洁净气体进行监测的方法，其特征在于，所述的洁净气体检测模块包括气压传感器及气体洁净度检测仪，其中，所述的洁净气体检测模块对通入所述的激光头装置中的洁净气体进行检测，所述的数控系统根据所述的洁净气体检测模块的检测结果判断是否需要触发报警，包括以下步骤：

(1)驱动所述的激光头装置开始工作；

(2)所述的气压传感器检测通入所述的激光头装置中的洁净气体的气压，获取相应的气压值，并将所述的气压值传输至所述的数控系统；所述的气体洁净度检测仪检测所述的激光头装置内部悬浮颗粒物浓度，获取相应的悬浮颗粒物浓度值，并将所述的悬浮颗粒物浓度值传输至所述的数控系统；

(3)所述的数控系统判断所述的气压值及所述的悬浮颗粒物浓度值是否超过对应的系统阈值；

(4)当所述的气压值及所述的悬浮颗粒物浓度值中至少一参数超过对应的系统阈值时，所述的数控系统触发报警；否则返回上述步骤(2)。

8.根据权利要求7所述的对激光头装置中洁净气体进行监测的方法，其特征在于，所述的激光头装置还包括主控板；所述的气压传感器通过所述的主控板将所述的气压值传输至所述的数控系统；所述的气体洁净度检测仪通过所述的主控板将所述的悬浮颗粒物浓度值传输至所述的数控系统。