[发明专利]一种超高纯铝溅射靶材及其轧制方法

权利要求书

1.一种超高纯铝溅射靶材的轧制方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将超高纯铝铸锭进行表面铣削，去除表面的氧化层；

2)将铸锭放入加热炉加热至230-270℃；

3)轧制：将加热后的铸锭在可逆式热轧机上进行轧制，单道次压下量为20mm，轧制时使用乳液进行润滑；首先可逆式热轧机辊缝设为单道次压下量的一半，铸锭头部咬入后停止轧制，轧辊翻转，铸锭回退至入口侧；随后调整可逆式热轧机辊缝至单道次压下量进行轧制，多次轧制得到厚度为50mm的靶坯；

4)将步骤3)所得靶坯头尾铸口咬合部分切除，随后根据所需长度对靶坯进行等分，自然冷却；

5)将步骤4)所得的靶坯再次加热至230-270℃，保温；

6)随后进行二次轧制，控制单道次压下量为10-30mm，经单道次或多道次轧制将靶坯厚度轧制至成品厚度；终轧后立即将轧件迅速均匀冷却至室温；

7)对步骤6)所制得的靶材进行热处理,热处理温度为250-270℃，保温1h，退火；

8)对退火后的靶材矫平后进行铣削加工，制得超高纯铝溅射靶材。

2.根据权利要求1所述的超高纯铝溅射靶材的轧制方法，其特征在于：步骤2)中所述加热炉为推进式加热炉。

3.根据权利要求1所述的超高纯铝溅射靶材的轧制方法，其特征在于：步骤3)中首次咬入前关闭热轧乳液开关，咬入后重新开启。

4.根据权利要求1所述的超高纯铝溅射靶材的轧制方法，其特征在于：步骤5)中保温时间为1h。

5.根据权利要求1所述的超高纯铝溅射靶材的轧制方法，其特征在于：步骤7)中热处理的升温速度为3.5-4.5℃/min。

6.一种超高纯铝溅射靶材，其特征在于：使用权利要求1-5任一所述的方法轧制所得。