[发明专利]一种铜镍合金旋转靶材及其生产方法在审
| 申请号： | 201910379955.5 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN110227906A | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 吴本明;文宏福 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 程毅 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铜镍合金 旋转靶材 冲孔 锻造 真空熔炼工艺 客户需求 有效减少 晶粒度 致密性 自由锻 车孔 减小 缩孔 铸锭 制备 熔铸 生产 | ||
1.一种铜镍合金旋转靶材的生产方法，其特征在于，具体包括以下步骤：
1)真空熔炼：对原料真空熔炼得到铜镍合金铸锭；
2)预车孔：在步骤1)所得的铜镍合金铸锭中部用车床预车一通孔；
3)冲孔：使用冲头对步骤2)所得铸锭的通孔进行冲孔，得靶材粗坯；
4)修整：对步骤3)所得的靶材粗坯进行冲孔扩孔、拉拔、滚圆达到所需尺寸的铜镍合金旋转靶材。
2.根据权利要求1所述的铜镍合金旋转靶材的生产方法，其特征在于：所述步骤1)中真空熔炼时浇铸温度为1250℃，真空度为10-2Pa。
3.根据权利要求1所述的铜镍合金旋转靶材的生产方法，其特征在于：所述步骤3)中冲孔温度设置为870-890℃。
4.根据权利要求3所述的铜镍合金旋转靶材的生产方法，其特征在于：所述步骤3)为在870-890℃条件下保温2h后，使用直径为50-80mm的冲头对步骤2)所得的预先车孔的铸锭进行冲孔。
5.根据权利要求1所述的铜镍合金旋转靶材的生产方法，其特征在于：所述步骤2)中预车通孔的直径为50-80mm。
6.根据权利要求5所述的铜镍合金旋转靶材的生产方法，其特征在于：所述步骤3)中冲头直径为50-80mm。
7.根据权利要求6所述的铜镍合金旋转靶材的生产方法，其特征在于：所述冲头带有锥度，呈上端外径大、下端外径小的结构，两端外径差值为15mm。
8.一种铜镍合金旋转靶材，其特征在于：通过权利要求1-7任一所述的方法生产得到。
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