[发明专利]基于FinFET结构的高速标准单元库版图设计方法有效

专利信息
申请号: 201910382478.8 申请日: 2019-05-09
公开(公告)号: CN110232213B 公开(公告)日: 2023-06-13
发明(设计)人: 阳媛;胡晓明 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G06F30/39 分类号: G06F30/39;G06F30/392;G06F30/398
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 栾美洁
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 基于 finfet 结构 高速 标准 单元 版图 设计 方法
【权利要求书】:

1.一种基于FinFET结构的高速标准单元库版图设计方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1,根据设计规则,确定鳍片在垂直方向上的格点间距Sf以及鳍片最小宽度的容许值Wf,得到有源区的可选宽度W;

步骤2,根据设计规则,确定多晶硅宽度的容许值Wpo以及多晶硅在水平方向上的间距Spo,得到多晶硅间距Wpp,所述多晶硅间距Wpp为单元版图的宽度参考指标;

步骤3,根据设计规则,确定金属层的最小宽度Wm和间距Sm,得到金属布线轨道宽度Wv,所述金属布线轨道宽度为单元版图的高度参考指标T;

步骤4,根据单元库的设计需求确定标准单元版图高度H;

步骤5,通过仿真电路,得到速度最快的PMOS和NMOS的宽度比值Rwidth,结合设计规则确定单元版图结构中的中线位置;

步骤6,通过标准单元版图高度、设计规则、中线位置信息,计算得到单元驱动部分PMOS可用鳍片最大值Fp、NMOS可用鳍片最大值Fn、PMOS有源区最大宽度Wp和NMOS有源区最大宽度Wn,确定驱动部分的版图布局;

步骤7,利用仿真迭代调整标准单元逻辑部分的有源区宽度,使得标准单元的速度最佳。

2.根据权利要求1所述的基于FinFET结构的高速标准单元库版图设计方法,其特征在于,在步骤1中,有源区的可选宽度W与鳍片在垂直方向上的格点间距Sf、鳍片最小宽度的容许值Wf的关系式为W=Wf+Sf×n,其中n为正整数。

3.根据权利要求1所述的基于FinFET结构的高速标准单元库版图设计方法,其特征在于,在步骤2中,多晶硅间距Wpp与多晶硅宽度的容许值Wpo、多晶硅在水平方向上的间距Spo的关系式为Wpp=Wpo+Spo。

4.根据权利要求1所述的基于FinFET结构的高速标准单元库版图设计方法,其特征在于,FinFET单元版图在水平方向上的宽度为多晶硅间距的正整数倍。

5.根据权利要求1所述的基于FinFET结构的高速标准单元库版图设计方法,其特征在于,在步骤3中,金属布线轨道宽度Wv与金属层的最小宽度Wm、金属层的间距Sm的关系式为Wv=Wm+Sm。

6.根据权利要求1所述的基于FinFET结构的高速标准单元库版图设计方法,其特征在于,在步骤4中,所述标准单元版图高度为金属布线轨道宽度的倍数。

7.根据权利要求6所述的基于FinFET结构的高速标准单元库版图设计方法,其特征在于,所述标准单元版图高度为金属布线轨道宽度的7~12倍。

8.根据权利要求7所述的基于FinFET结构的高速标准单元库版图设计方法,其特征在于,所述标准单元版图高度与金属布线轨道宽度的比值为整数。

9.根据权利要求7所述的基于FinFET结构的高速标准单元库版图设计方法,其特征在于,所述标准单元版图高度与金属布线轨道宽度的比值为非整数。

10.根据权利要求1所述的基于FinFET结构的高速标准单元库版图设计方法,其特征在于,在步骤5中,仿真电路为环形振荡器电路或单元电路自身。

11.根据权利要求1所述的基于FinFET结构的高速标准单元库版图设计方法,其特征在于,在步骤5中,速度最快的PMOS和NMOS的宽度比值Rwidth为1.0~2.0。

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