[发明专利]一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法

说明书

本发明涉及一种电镜检测和维护的技术领域，更具体地说，它涉及一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法，其技术方案要点是：第一，控制对中调节螺丝的旋转角度，逐步缩小灯丝偏离栅极孔中心的幅度，防止调节过程灯丝反复偏离中心，缩短调节时间；第二，在体视显微镜工作台面设置一个定位圆，快速肉眼观察和手动定位，保证栅极帽位于显微镜视场的中心位置，大大缩短每次观察灯丝对中效果的操作时间；第三，细化和量化操作动作，从而实现快速、精确的灯丝对中。

技术领域

本发明涉及一种电镜检测和维护的技术领域，更具体地说，它涉及一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法。

背景技术

钨灯丝电子显微镜中的电子枪，是由钨灯丝热阴极、栅极圆筒(也称栅极帽)和阳极构成的部件，能发射出并形成速度均匀的电子束。其中，固定在陶瓷座上的钨灯丝通过灯丝固定盘、灯丝对中圈等部件组成灯丝组件，再套入栅极圆筒中，灯丝组件与栅极圆筒底部之间一般会用垫片或弹簧片隔离，使灯丝顶端位于栅极圆筒中心小孔(栅极孔)内，再用带外螺纹的调节圈将灯丝组件封卡在栅极圆筒内。

电镜电子枪钨灯丝的安装需要严格对中，灯丝尖端(简称钨尖)轴线必须与栅极孔圆心重合。若出现偏离，电子枪输出的束电流将大幅减小，从而导致电子图像亮度下降，为达到观察效果，必须加大电流，从而加剧了灯丝的蒸发损耗，寿命大大缩短。

上述技术方案存在缺陷：1、灯丝的尺寸较小，一般情况下，灯丝对中依靠人眼直接操作，很不方便；2、设计一种辅助对中装置，但是这些装置结构复杂，制作难度大，且制造成本高。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法，具有灯丝对中的速度快以及精确度高的优点。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法，包括以下步骤：

(1)安装灯丝时，用专用的镊子夹持灯丝的两个叉脚，顺着固定盘内的卡槽位置，将灯丝镶入固定盘内，注意使灯丝的两个叉脚连成的直线与固定盘开口边沿的两个槽口连成的直线平行，并用螺丝起子，依次扭转固定盘外侧面均匀分布的四个第一螺丝，卡住陶瓷座，从而将灯丝固定在固定盘内，通过肉眼观察，调整固定盘的四个第一螺丝，使陶瓷座与固定盘同心；

(2)一手捏住固定盘，将灯丝的两个叉脚所在的一端，放入对中圈圆筒内，注意固定盘边缘的缺口或小孔要与对中圈的圆筒内侧的销或槽对齐，并用螺丝起子，利用对中圈圆筒上均匀分布的四个第二螺丝，卡住固定盘，从而将灯丝固定在对中圈内，肉眼观察，调整对中圈的四个第二螺丝，使陶瓷座与对中圈同心；

(3)一手握住栅极帽，使栅极帽的开口端朝上，首先，将栅极帽专门配备的垫片或弹簧片放入栅极帽内，然后，将栅极帽稍微倾斜，另一只手将对中圈以灯丝的叉尖所在的一端缓缓塞入栅极帽内，注意不要让灯丝的叉尖碰到栅极帽内侧以及垫片或弹簧片，再将栅极帽专门配备的调节圈套在栅极帽的开口端，利用专门旋转工具稍微拧转调节圈，将对中圈固定在栅极帽中；

(4)将栅极帽翻转，使栅极帽的开口端朝下，肉眼观察栅极孔，看到灯丝的叉尖，继续拧紧调节圈，使灯丝的叉尖缓慢地从栅极孔内往外伸出到与栅极帽的圆形平面基本齐平；

(5)在一张空白纸或垫块的上表面，用圆规或手工画出一个圆，圆的直径稍微大于栅极帽的开口端的外轮廓直径，同时在所画的圆心处作上标记，将空白纸或垫块放置在体视显微镜的物镜正下方，通过目镜观察圆心并调焦，移动空白纸或垫块使圆心位于视场中心，固定空白纸或垫块；

(6)栅极帽朝向灯丝的叉尖的端面朝上，将栅极帽放置在所画的圆圈内，目镜观察灯丝的叉尖并调焦，直至清晰地观察到栅极孔内的灯丝的叉尖，判断灯丝叉尖是否位于栅极孔的中心，如果不在中心，则利用螺丝起子，穿过与对中圈的第二螺丝位置对应的栅极帽圆筒的筒壁上的孔洞，调整对中圈的四个第二螺丝，为灯丝的叉尖对中；