[发明专利]减压干燥装置及减压干燥方法

权利要求书

1.一种减压干燥装置，其特征在于，包括干燥腔体、溶剂捕获板和支承板，所述溶剂捕获板和所述支承板设于所述干燥腔体内，所述支承板用于承载和加热待干燥基板，所述溶剂捕获板与所述支承板相对设置且能够转动，所述溶剂捕获板转动的过程中，所述支承板在所述溶剂捕获板所在面上的投影完全位于所述溶剂捕获板内。

2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述溶剂捕获板的转动轴垂直于所述溶剂捕获板，所述溶剂捕获板的中心在所述溶剂捕获板的转动轴上。

3.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述支承板的中心在所述溶剂捕获板所在面上的投影与所述溶剂捕获板的中心重合。

4.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述溶剂捕获板的形状为圆形，所述支承板的形状为矩形。

5.根据权利要求4所述的减压干燥装置，其特征在于，所述支承板的顶点在所述溶剂捕获板所在面上的投影位于所述溶剂捕获板的边缘上。

6.根据权利要求1～5任一项所述的减压干燥装置，其特征在于，还包括旋转部件，所述旋转部件与所述干燥腔体连接，所述溶剂捕获板与所述旋转部件连接且能够在所述旋转部件的带动下转动。

7.一种减压干燥方法，其特征在于，包括以下步骤：将待干燥基板置于减压干燥装置的支承板上进行减压干燥，在所述减压干燥的过程中，使所述减压干燥装置的溶剂捕获板转动，且所述溶剂捕获板转动的过程中，所述支承板在所述溶剂捕获板所在面上的投影完全位于所述溶剂捕获板内。

8.根据权利要求7所述的减压干燥方法，其特征在于，所述减压干燥的条件为：在压力0.1torr～200torr干燥300s～600s，然后将压力降低至1×10^-4torr以下干燥180s～600s。

9.根据权利要求7所述的减压干燥方法，其特征在于，在所述减压干燥的过程中，所述溶剂捕获板以60r/min～100r/min的速度匀速转动。

10.根据权利要求7～9任一项所述的减压干燥方法，其特征在于，在所述减压干燥的过程中，所述待干燥基板与所述溶剂捕获板之间的距离为1mm～20mm。