[发明专利]酸性蚀刻液再生回用系统

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液再生回用系统，其特征在于，包括：

蚀刻工位，所述蚀刻工位设有相连通的蚀刻机缸和废液收集桶；

电解工位，所述电解工位设有电解装置，所述电解装置包括由隔膜分隔的阳极室和阴极室，所述阴极室连通于所述废液收集桶；以及

再生工位，所述再生工位设有相连通的再生子液调配缸和再生子液吸收桶，所述再生子液调配缸连通于所述阴极室，所述再生子液吸收桶连通于所述阳极室和所述蚀刻机缸；

所述再生子液调配缸设有调配模块，所述调配模块内含有补加剂；

所述补加剂包括盐酸、氯化铵、碳酸氢铵以及添加剂，所述盐酸用以提供酸度，所述氯化铵用以提供氯离子，所述碳酸氢铵用以提供氨氮值，所述添加剂用以稳定蚀刻速率。

2.如权利要求1所述的酸性蚀刻液再生回用系统，其特征在于，所述补加剂的加入量为酸性蚀刻液质量的0.1％-10％。

3.如权利要求2所述的酸性蚀刻液再生回用系统，其特征在于，按质量份计，所述补加剂包括：质量分数为31％的盐酸1-5份、氯化铵0-3份、碳酸氢铵0-0.5份及添加剂0.1-0.3份。

4.如权利要求3所述的酸性蚀刻液再生回用系统，其特征在于，按质量份计，所述添加剂包括氯化钾5-6份、磷酸二氢铵3-4份及氨基磺酸1-2份。

5.如权利要求1至4中任一项所述的酸性蚀刻液再生回用系统，其特征在于，所述蚀刻工位还设有溶解吸收缸，所述溶解吸收缸连通于所述蚀刻机缸和所述阳极室。

6.如权利要求1至4中任一项所述的酸性蚀刻液再生回用系统，其特征在于，所述蚀刻工位还设有废液中转桶，所述废液中转桶连通所述废液收集桶和所述阴极室；和/或，

所述再生工位还设有再生液中转桶，所述再生液中转桶连通于所述再生子液调配缸和所述阴极室。

7.如权利要求1至4中任一项所述的酸性蚀刻液再生回用系统，其特征在于，所述蚀刻工位还设有再生子液储存桶，所述再生子液储存桶连通所述蚀刻机缸和所述再生子液吸收桶。

8.如权利要求7所述的酸性蚀刻液再生回用系统，其特征在于，所述再生子液储存桶设置有比重控制仪，用以控制由所述再生子液储存桶中的再生子液流入所述蚀刻机缸中的流量。

9.如权利要求1至4中任一项所述的酸性蚀刻液再生回用系统，其特征在于，所述酸性蚀刻液再生回用系统还包括废气吸收装置，所述废气吸收装置连通所述阴极室和所述阳极室。