[发明专利]磁阻式随机存取存储器有效
申请号: | 201910384092.0 | 申请日: | 2019-05-09 |
公开(公告)号: | CN111916472B | 公开(公告)日: | 2023-10-13 |
发明(设计)人: | 黄鼎翔;盛义忠;薛胜元;李国兴;康智凯 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H10B61/00 | 分类号: | H10B61/00;G11C11/16 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁阻 随机存取存储器 | ||
1.一种半导体元件,其特征在于,该半导体元件包含:
基底,包含磁性隧穿接面(magnetic tunneling junction,MTJ)区域以及逻辑区域;
MTJ,设于该MTJ区域上,其中该MTJ的上视剖面包含一圆形;以及
第一金属内连线,设于该MTJ上,其中该第一金属内连线的上视剖面包含一平椭圆,重叠该圆形。
2.如权利要求1所述的半导体元件,其中该平椭圆包含:
第一切线(tangent line),沿着第一方向延伸;以及
第二切线,沿着该第一方向延伸,其中该第一切线以及该第二切线平行。
3.如权利要求2所述的半导体元件,其中该平椭圆包含:
第一曲线,设于该圆形一侧并连接该第一切线以及该第二切线;以及
第二曲线,设于该圆形另一侧并连接该第一切线以及该第二切线。
4.如权利要求2所述的半导体元件,其中该平椭圆包含短轴,沿着第二方向延伸且该短轴相对于该圆形直径的比例大于0.7以及小于1.3。
5.如权利要求4所述的半导体元件,其中该第一方向垂直于该第二方向。
6.如权利要求2所述的半导体元件,其中该平椭圆包含一长轴,沿着该第一方向延伸且该长轴相对于该圆形直径的比例大于2以及小于3.3。
7.如权利要求1所述的半导体元件,另包含:
第二金属内连线,设于该逻辑区域,其中该第二金属内连线的上视剖面包含一矩形。
8.如权利要求7所述的半导体元件,其中该第一金属内连线以及该第二金属内连线位于同一层上。
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