[发明专利]用于电镀金刚石线锯丝生产的悬浮法多线上砂系统及方法

说明书

本公开提出了用于电镀金刚石线锯丝生产的悬浮法多线上砂系统及方法，包括：上扫砂管部件及下扫砂管部件；其中，所述上扫砂管部件及下扫砂管部件分别通过各自的进液口与总进液管连接，所述总进液管与扫砂管部件固定座固定连接，所述扫砂管部件固定座在驱动装置的作用下带动上扫砂管部件及下扫砂管部件在各自所在的上砂槽内往复运动，扫砂管部件固定座由导向光杆通过直线轴承导向。该上砂系统的上、下两上砂槽完成两次上砂工艺。各上砂槽中的两扫砂管合用一个进液口，缩短了扫砂机构行程，结构简单，节约空间。

技术领域

本公开涉及复合电镀设备技术领域，特别是涉及用于电镀金刚石线锯丝生产的悬浮法多线上砂系统及方法。

背景技术

电镀金刚石线锯丝具有锯切效率高、切片质量高、切缝损耗小、对环境污染小等优点，在光伏硅晶体、单晶碳化硅、蓝宝石、磁性材料等硬脆材料的切割加工得到广泛应用，在光伏硅晶体切片加工中已占据70％以上的市场。

传统的悬浮上砂法电镀金刚石线锯丝生产系统中，上砂槽中镀液搅拌是由电机带动搅拌桨搅拌，这种方法导致上砂槽内镀液流场不均匀，金刚石微粉悬浮状态不稳定；上砂槽中存在镀液流动死区，不仅导致线锯丝表面上砂不均，还会引起金刚石微粉沉积在上砂槽镀液流动死区；这种镀液搅拌方法要求设备安装空间较大，也不适于多线同时上砂。

发明人在研究中发现，目前存在相关的专利技术，但是，依然存在各种技术问题，例如：中国专利文献CN205874569U公开了一种电镀金刚石线锯上砂槽内往复移动式扫砂装置，克服了搅拌桨搅拌的不足，但是一个上砂槽内只有一根扫砂管，扫砂管移动行程长，需提高扫砂管往复移动速度才能满足上砂槽内镀液的搅拌要求，上砂槽内镀液流场不均匀。

中国专利文献CN207435574U公开了一种用于电镀金刚石线生产的双扫砂管扫砂装置，缩短了扫砂管往复移动的时间间隔，提高了扫砂效率。但是扫砂管采用端部进液，扫砂管的喷砂口喷液流速差异较大；在多线上砂时，上砂槽宽度加大，扫砂管喷砂口喷液流速差别进一步加大；在上砂槽底部边缘位置的镀液搅动不充分，易造成液流死区位置沉砂现象；同一上砂槽内两个扫砂管独立安装和驱动，结构复杂，易出现机械故障。

发明内容

本说明书实施方式的目的是提供用于电镀金刚石线锯丝生产的悬浮法多线上砂系统，该上砂系统的上、下两上砂槽完成两次上砂工艺。各上砂槽中的两扫砂管合用一个进液口，缩短了扫砂机构行程，结构简单，节约空间。

本说明书实施方式提供用于电镀金刚石线锯丝生产的悬浮法多线上砂系统，通过以下技术方案实现：

包括：

上扫砂管部件及下扫砂管部件；

其中，所述上扫砂管部件及下扫砂管部件分别通过各自的进液口与总进液管连接，所述总进液管与扫砂管部件固定座固定连接，所述扫砂管部件固定座在驱动装置的作用下带动上扫砂管部件及下扫砂管部件在各自所在的上砂槽内往复运动,导向光杆与所述扫砂管部件固定座之间通过直线轴承联接并对扫砂管部件固定座移动进行导向。

进一步的技术方案，所述上扫砂管部件及下扫砂管部件采用相同的结构，均包括两根扫砂管，两根扫砂管之间连接有进液管，且两根扫砂管相对进液管对称布置。

进一步的技术方案，所述扫砂管两端部设置喷砂口，所述扫砂管底面成双排对称分布有喷砂口。

进一步的技术方案，同一上砂槽内两根扫砂管的间距小于扫砂管的行程范围，扫砂管有运动重叠区域。

进一步的技术方案，上砂槽内设置有活动挡板，可以上下移动，控制上砂槽出液口大小，控制上砂槽内电镀液的液面高度，进而控制锯丝基体在镀液中埋入深度。

本说明书实施方式提供用于电镀金刚石线锯丝生产的悬浮法多线上砂方法，通过以下技术方案实现：

包括：