[发明专利]一种石墨烯高温温度传感器

权利要求书

1.一种石墨烯高温温度传感器，所述温度传感器处于1700℃～2000℃的高温下稳定工作，其特征在于，所述传感器具体包括：

至少一个封装外壳，所述封装外壳内部上下两端分别设置有一个陶瓷基板、及一个衬底，所述陶瓷基板、所述衬底及所述封装外壳共同界定一个检测空间；

至少一个检测单元，所述检测单元设置在所述检测空间内，所述检测单元包括至少一个氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜、及至少两个金属电极，所述衬底面向所述陶瓷基板的一面设置所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜，所述金属电极接设于所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜上，并通过衬底传导热量至所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜感受外部温度变化。

2.根据权利要求1所述一种石墨烯高温温度传感器传感器，其特征在于，所述检测空间为一个能够将氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜与外部空气隔离的无氧真空腔。

3.根据权利要求1所述一种石墨烯高温温度传感器传感器，其特征在于，所述衬底相反于陶瓷基板的一侧面刻蚀有许多小孔形成的多孔结构，在所述衬底相反于多孔结构的一面布置所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜，并所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜的面积小于整个所述衬底的面积。

4.根据权利要求3所述一种石墨烯高温温度传感器，其特征在于，在所述衬底相反于多孔结构的一面周侧通过密封环支撑在所述陶瓷基板上侧面，所述陶瓷基板、衬底及密封环构成所述无氧真空，所述无氧真空腔内可填充惰性、热膨胀系数较小的气体。

5.根据权利要求4所述一种石墨烯高温温度传感器，其特征在于，所述封装外壳与陶瓷基板相连并粘结牢固。

6.根据权利要求1-5任意之一所述一种石墨烯高温温度传感器，其特征在于，所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜包括上层氮化硼层、下层氮化硼层、及夹在其中的单层石墨烯。

7.根据权利要求6所述一种石墨烯高温温度传感器，其特征在于，所述金属电极包括分别连接所述纳米膜两端的第一金属电极及第二金属电极，所述第一金属电极依次通过第一互连凸点、第一互连焊盘及第一引线柱连接外部检测组件；所述第二金属电极依次通过第二互连凸点、第二互连焊盘及第二引线柱连接外部检测组件。

8.根据权利要求7所述一种石墨烯高温温度传感器，其特征在于，在所述第一金属电极、第二金属电极、密封环与衬底之间均相应的设置有阻挡层。

9.根据权利要求8所述一种石墨烯高温温度传感器，其特征在于，所述下层氮化硼、及石墨烯层贴覆在所述第一金属电极、第二金属电极的一侧面，所述上层石墨烯两端与所述阻挡层接触设置。