[发明专利]基于传感器阵列的有机气体检测识别芯片在审
申请号: | 201910386617.4 | 申请日: | 2019-05-09 |
公开(公告)号: | CN111912877A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 武恩秀;解媛;胡晓东;袁博 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00 |
代理公司: | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人: | 王秀奎 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 传感器 阵列 有机 气体 检测 识别 芯片 | ||
1.基于传感器阵列的有机气体检测识别芯片,其特征在于,包括反应腔体,在反应腔体两侧设置气体输入通道和气体输出通道;在反应腔体内,自气体输入通道至气体输出通道的方向上依次设置石墨烯、硫化钼、碲化钼和硫化铼,在石墨烯、硫化钼、碲化钼和硫化铼的两侧均设置金电极,石墨烯的第二金电极、硫化钼的第二金电极、碲化钼的第二金电极和硫化铼的第二金电极通过导线接地,且石墨烯、硫化钼、碲化钼和硫化铼彼此处于并联状态;石墨烯的第一金电极与第一引出导线相连,硫化钼的第一金电极与第二引出导线相连,碲化钼的第一金电极与第三引出导线相连,硫化铼的第一金电极与第四引出导线相连。
2.根据权利要求1所述的基于传感器阵列的有机气体检测识别芯片,其特征在于,石墨烯、硫化钼、碲化钼和硫化铼共同组成传感器阵列,在反应腔体内,自气体输入通道至气体输出通道的方向上等距离设置石墨烯、硫化钼、碲化钼和硫化铼。
3.根据权利要求1或者2所述的基于传感器阵列的有机气体检测识别芯片,其特征在于,第一引出导线、第二引出导线、第三引出导线和第四引出导线从反应腔体内伸出,构成检测电路,与检测设备相连。
4.根据权利要求1或者2所述的基于传感器阵列的有机气体检测识别芯片,其特征在于,接地位置在反应腔体内部或者外部。
5.根据权利要求1或者2所述的基于传感器阵列的有机气体检测识别芯片,其特征在于,传感器(即反应腔体)尺寸为(1—5)×(1—5)×(1—5)mm3。
6.根据权利要求1或者2所述的基于传感器阵列的有机气体检测识别芯片,其特征在于,传感器(即反应腔体)尺寸为(2—3)×(2—3)×(2—3)mm3。
7.根据权利要求1或者2所述的基于传感器阵列的有机气体检测识别芯片,其特征在于,采用二维纳米半导体材料作为传感单元,每个半导体材料的厚度为纳米(nm)量级,如10nm以内,平面尺寸为微米(um)量级,如300—500微米。
8.如权利要求1—7之一所述的基于传感器阵列的有机气体检测识别芯片在检测乙醇、丙酮、甲醇、正己烷和异丙醇中的应用。
9.根据权利要求8所述的有机气体检测识别芯片在检测乙醇、丙酮、甲醇、正己烷和异丙醇中的应用,其特征在于,在使用中,以乙醇、丙酮、甲醇、正己烷和异丙醇分别待测气体,进入反应腔室进行传感并测试数据,将测试数据利用线性判别分析进行分类,确定气体类别,实现气体的定性识别;根据灵敏度的大小,从而确定气体浓度,实现气体的定量识别。
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